วัสดุผลึกเดี่ยวซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) มีความกว้างของช่องว่างแถบความถี่ขนาดใหญ่ (~Si 3 เท่า) ค่าการนำความร้อนสูง (~Si 3.3 เท่าหรือ GaAs 10 เท่า) อัตราการโยกย้ายความอิ่มตัวของอิเล็กตรอนสูง (~Si 2.5 เท่า) ไฟฟ้าสลายสูง สนาม (~Si 10 เท่าหรือ GaAs 5 เท่า) และลักษณะเด่นอื่น ๆ
พลังงานของ Semicera สามารถให้ลูกค้าได้รับสารตั้งต้นซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้า (นำไฟฟ้า), กึ่งฉนวน (กึ่งฉนวน), HPSI (กึ่งฉนวนความบริสุทธิ์สูง) คุณภาพสูงให้กับลูกค้า; นอกจากนี้ เราสามารถจัดหาแผ่นอิพิแทกเซียลซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นเนื้อเดียวกันและต่างกันให้กับลูกค้าได้ เรายังสามารถปรับแต่งแผ่นปิดแผลได้ตามความต้องการเฉพาะของลูกค้า และไม่มีปริมาณการสั่งซื้อขั้นต่ำ
| รายการ | การผลิต | วิจัย | หุ่นเชิด |
| พารามิเตอร์คริสตัล | |||
| โพลีไทป์ | 4H | ||
| ข้อผิดพลาดในการวางแนวพื้นผิว | <11-20 >4±0.15° | ||
| พารามิเตอร์ทางไฟฟ้า | |||
| สารเจือปน | ไนโตรเจนชนิด n | ||
| ความต้านทาน | 0.015-0.025โอห์ม·ซม | ||
| พารามิเตอร์ทางกล | |||
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 99.5 - 100มม | ||
| ความหนา | 350±25 ไมโครเมตร | ||
| ปฐมนิเทศแนวราบ | [1-100]±5° | ||
| ความยาวแบนหลัก | 32.5±1.5มม | ||
| ตำแหน่งแบนรอง | 90° CW จากแฟลตหลัก ±5° ซิลิคอนหงายหน้าขึ้น | ||
| ความยาวแบนรอง | 18±1.5มม | ||
| ทีทีวี | ≤5 ไมโครเมตร | ≤10 ไมโครเมตร | ≤20 ไมโครเมตร |
| LTV | ≤2μm (5 มม. * 5 มม.) | ≤5μm (5 มม. * 5 มม.) | NA |
| โค้งคำนับ | -15ไมโครเมตร ~ 15ไมโครเมตร | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| วาร์ป | ≤20 ไมโครเมตร | ≤45 ไมโครเมตร | ≤50 ไมโครเมตร |
| ความหยาบด้านหน้า (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| โครงสร้าง | |||
| ความหนาแน่นของไมโครไพพ์ | ≤1 อีเอ/ซม2 | ≤5 ชิ้น/ซม.2 | ≤10 ตัว/cm2 |
| สิ่งเจือปนของโลหะ | ≤5E10อะตอม/ซม.2 | NA | |
| บีพีดี | ≤1500 ตัว/cm2 | ≤3000ตัว/cm2 | NA |
| ศูนย์รับฝาก | ≤500 ตัว/cm2 | ≤1,000 ตัว/cm2 | NA |
| คุณภาพด้านหน้า | |||
| ด้านหน้า | Si | ||
| การตกแต่งพื้นผิว | ซี-เฟซ ซีเอ็มพี | ||
| อนุภาค | ≤60ea/เวเฟอร์ (ขนาด≥0.3μm) | NA | |
| รอยขีดข่วน | ≤2ea/มม. ความยาวสะสม ≤เส้นผ่านศูนย์กลาง | ความยาวสะสม≤2*เส้นผ่านศูนย์กลาง | NA |
| เปลือกส้ม/หลุม/คราบ/ริ้ว/รอยแตก/การปนเปื้อน | ไม่มี | NA | |
| เศษขอบ/รอยเยื้อง/การแตกหัก/แผ่นฐานสิบหก | ไม่มี | NA | |
| พื้นที่โพลีไทป์ | ไม่มี | พื้นที่สะสม≤20% | พื้นที่สะสม≤30% |
| เลเซอร์มาร์กด้านหน้า | ไม่มี | ||
| คุณภาพกลับ | |||
| ด้านหลังเสร็จ | CMP หน้าซี | ||
| รอยขีดข่วน | ≤5ea/mm ความยาวสะสม≤2*เส้นผ่านศูนย์กลาง | NA | |
| ข้อบกพร่องด้านหลัง (รอยบิ่น/รอยเยื้อง) | ไม่มี | ||
| กลับหยาบกร้าน | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| เลเซอร์มาร์กหลัง | 1 มม. (จากขอบด้านบน) | ||
| ขอบ | |||
| ขอบ | แชมเฟอร์ | ||
| บรรจุภัณฑ์ | |||
| บรรจุภัณฑ์ | ถุงชั้นในเต็มไปด้วยไนโตรเจน และถุงชั้นนอกถูกดูดฝุ่น คาสเซ็ตหลายเวเฟอร์ พร้อม epi | ||
| *หมายเหตุ： "NA" หมายถึงไม่มีการร้องขอ รายการที่ไม่ได้กล่าวถึงอาจหมายถึง SEMI-STD | |||
