รทปแหวน CVD SiCมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในสาขาอุตสาหกรรมและวิทยาศาสตร์ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อน มีบทบาทสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ เครื่องจักรที่มีความแม่นยำ และอุตสาหกรรมเคมี การใช้งานเฉพาะได้แก่:
1. การผลิตเซมิคอนดักเตอร์:วงแหวน SiC RTP CVDสามารถใช้สำหรับการทำความร้อนและความเย็นของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ให้การควบคุมอุณหภูมิที่เสถียรและรับประกันความแม่นยำและความสม่ำเสมอของกระบวนการ
2. ออปโตอิเล็กทรอนิกส์: เนื่องจากมีค่าการนำความร้อนที่ดีเยี่ยมและทนต่ออุณหภูมิสูง RTPแหวน CVD SiCสามารถใช้เป็นวัสดุรองรับและกระจายความร้อนสำหรับเลเซอร์ อุปกรณ์สื่อสารใยแก้วนำแสง และส่วนประกอบทางแสง
3. เครื่องจักรที่มีความแม่นยำ: วงแหวน SiC ของ RTP CVD สามารถใช้กับเครื่องมือและอุปกรณ์ที่มีความแม่นยำในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อน เช่น เตาเผาที่มีอุณหภูมิสูง อุปกรณ์สูญญากาศ และเครื่องปฏิกรณ์เคมี
4. อุตสาหกรรมเคมี: เนื่องจากความต้านทานการกัดกร่อนและความเสถียรทางเคมี วงแหวน SiC ของ RTP CVD จึงสามารถใช้ในภาชนะ ท่อ และเครื่องปฏิกรณ์ในปฏิกิริยาเคมีและกระบวนการเร่งปฏิกิริยาได้
ระบบอีพี
ระบบอาร์ทีพี
ระบบซีวีดี
ประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์:
1. พบกับกระบวนการที่ต่ำกว่า 28 นาโนเมตร
2. ความต้านทานการกัดกร่อนสูง
3. ประสิทธิภาพที่สะอาดสุด ๆ
4. ความแข็งสุด
5. ความหนาแน่นสูง
6. ทนต่ออุณหภูมิสูง
7. ความต้านทานการสึกหรอ
การประยุกต์ใช้ผลิตภัณฑ์:
วัสดุซิลิคอนคาร์ไบด์มีลักษณะความแข็งสูง ทนต่อการสึกหรอ ทนต่อการกัดกร่อน และมีเสถียรภาพที่อุณหภูมิสูง ผลิตภัณฑ์ที่มีประสิทธิภาพครอบคลุมเป็นเลิศมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการกัดแบบแห้งและกระบวนการ TF/การแพร่กระจาย
ประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์:
1. พบกับกระบวนการที่ต่ำกว่า 28 นาโนเมตร
2. ความต้านทานการกัดกร่อนสูง
3. ประสิทธิภาพที่สะอาดสุด ๆ
4. ความแข็งสุด
5. ความหนาแน่นสูง
6. ทนต่ออุณหภูมิสูง
7. ความต้านทานการสึกหรอ
การพัฒนากระบวนการคอมโพสิต:
กราไฟท์ + เคลือบซิก
Solide CvD sic
SiC+CVD เผาผนึก
SicSintered SiC
การพัฒนาผลิตภัณฑ์หลายประเภท:
แหวน
โต๊ะ
ซัซเซพเตอร์
หัวฝักบัว