ซิลิคอนคาร์ไบด์ เอฟเฟกต์เซรามิกสำหรับการถ่ายโอนเวเฟอร์ในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ

ลักษณะและข้อดี

1. ขนาดที่แม่นยำและเสถียรภาพทางความร้อน

2. ความแข็งจำเพาะสูงและความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ดีเยี่ยมการใช้งานในระยะยาวไม่ใช่เรื่องง่ายที่จะโค้งงอ

3.มีพื้นผิวเรียบและทนต่อการสึกหรอได้ดี จึงจัดการชิปได้อย่างปลอดภัยโดยไม่มีการปนเปื้อนของอนุภาค

4. ความต้านทานของซิลิกอนคาร์ไบด์ใน106-108Ω ไม่ใช่แม่เหล็ก สอดคล้องกับข้อกำหนดข้อกำหนดป้องกัน ESDสามารถป้องกันการสะสมของไฟฟ้าสถิตบนพื้นผิวของชิปได้

5.การนำความร้อนที่ดี ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวต่ำ