Semicera ความบริสุทธิ์สูงไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์ได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่ นี้ไม้พาย SiC Cantileverเป็นเลิศในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง โดยมีเสถียรภาพทางความร้อนและความทนทานทางกลที่ไม่มีใครเทียบได้ โครงสร้าง SiC Cantilever สร้างขึ้นเพื่อให้ทนทานต่อสภาวะที่รุนแรง จึงรับประกันการจัดการเวเฟอร์ที่เชื่อถือได้ตลอดกระบวนการต่างๆ
หนึ่งในนวัตกรรมที่สำคัญของไม้พาย SiCคือการออกแบบให้มีน้ำหนักเบาแต่แข็งแกร่ง ซึ่งช่วยให้สามารถรวมเข้ากับระบบที่มีอยู่ได้อย่างง่ายดาย ค่าการนำความร้อนสูงช่วยรักษาความเสถียรของเวเฟอร์ในระหว่างขั้นตอนที่สำคัญ เช่น การกัดและการสะสม ช่วยลดความเสี่ยงที่จะเกิดความเสียหายของเวเฟอร์ และรับประกันผลผลิตที่สูงขึ้น การใช้ซิลิคอนคาร์ไบด์ความหนาแน่นสูงในโครงสร้างของไม้พายช่วยเพิ่มความทนทานต่อการสึกหรอ ทำให้มีอายุการใช้งานยาวนานขึ้น และลดความจำเป็นในการเปลี่ยนบ่อยครั้ง
Semicera ให้ความสำคัญอย่างยิ่งต่อนวัตกรรม โดยนำเสนอไม้พาย SiC Cantileverที่ไม่เพียงแต่ตรงตามมาตรฐานอุตสาหกรรมเท่านั้น ไม้พายนี้ได้รับการปรับให้เหมาะสมสำหรับการใช้งานในการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ ตั้งแต่การสะสมจนถึงการกัด ซึ่งความแม่นยำและความน่าเชื่อถือเป็นสิ่งสำคัญ ด้วยการบูรณาการเทคโนโลยีล้ำสมัยนี้ ผู้ผลิตสามารถคาดหวังประสิทธิภาพที่ดีขึ้น ลดต้นทุนการบำรุงรักษา และคุณภาพของผลิตภัณฑ์ที่สม่ำเสมอ
คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่ | |
คุณสมบัติ | ค่าทั่วไป |
อุณหภูมิในการทำงาน (°C) | 1600°C (พร้อมออกซิเจน), 1700°C (ลดสภาพแวดล้อม) |
เนื้อหา SiC | > 99.96% |
เนื้อหาศรีฟรี | <0.1% |
ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | 2.60-2.70 ก./ซม3 |
มีความพรุนอย่างเห็นได้ชัด | < 16% |
แรงอัด | > 600 เมกะปาสคาล |
แรงดัดงอเย็น | 80-90 เมกะปาสคาล (20°ซ) |
แรงดัดงอร้อน | 90-100 เมกะปาสคาล (1,400°C) |
การขยายตัวทางความร้อนที่ 1500°C | 4.70 10-6/°ซ |
การนำความร้อนที่ 1200°C | 23 วัตต์/เมตร•เค |
โมดูลัสยืดหยุ่น | 240 เกรดเฉลี่ย |
ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน | ดีมาก |