เรือเวเฟอร์ SiC
เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นอุปกรณ์รับน้ำหนักสำหรับเวเฟอร์ ซึ่งส่วนใหญ่ใช้ในกระบวนการแพร่แสงอาทิตย์และเซมิคอนดักเตอร์ มีลักษณะเช่นความต้านทานการสึกหรอทนต่อการกัดกร่อนทนต่อแรงกระแทกที่อุณหภูมิสูงทนต่อการทิ้งระเบิดด้วยพลาสมาความจุแบริ่งที่อุณหภูมิสูงการนำความร้อนสูงการกระจายความร้อนสูงและการใช้งานในระยะยาวที่ไม่ง่ายต่อการโค้งงอและทำให้เสียรูป บริษัทของเราใช้วัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเพื่อรับประกันอายุการใช้งานและมอบการออกแบบที่ปรับแต่งตามความต้องการ รวมถึง แนวตั้งและแนวนอนต่างๆเรือเวเฟอร์.
ไม้พาย SiC
ที่พายเท้าแขนซิลิกอนคาร์ไบด์ส่วนใหญ่จะใช้ในการเคลือบ (การแพร่กระจาย) ของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน ซึ่งมีบทบาทสำคัญในการบรรทุกและขนส่งแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนที่อุณหภูมิสูง เป็นส่วนประกอบสำคัญของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ระบบโหลดและมีคุณสมบัติหลักดังต่อไปนี้:
1. ไม่เปลี่ยนรูปในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีแรงโหลดสูงบนเวเฟอร์
2. ทนต่อความเย็นจัดและความร้อนอย่างรวดเร็วและมีอายุการใช้งานยาวนาน
3. ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนมีขนาดเล็ก ช่วยยืดอายุการบำรุงรักษาและการทำความสะอาดได้อย่างมาก และลดมลพิษได้อย่างมาก
ท่อเตา SiC
ท่อกระบวนการซิลิคอนคาร์ไบด์ทำจาก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยไม่มีสิ่งเจือปนที่เป็นโลหะ ไม่ก่อให้เกิดมลพิษในเวเฟอร์ และเหมาะสำหรับกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่กระจายของเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ การหลอมอ่อน และกระบวนการออกซิเดชัน
แขนหุ่นยนต์ SiC
แขนหุ่นยนต์ SiCหรือที่รู้จักกันในชื่อ wafer transfer end effector เป็นแขนหุ่นยนต์ที่ใช้ในการขนส่งเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ และพลังงานแสงอาทิตย์ การใช้ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง มีความแข็งสูง ทนต่อการสึกหรอ ต้านทานแผ่นดินไหว การใช้งานระยะยาวโดยไม่มีการเสียรูป อายุการใช้งานยาวนาน ฯลฯ สามารถให้บริการที่กำหนดเองได้
กราไฟท์สำหรับการเติบโตของคริสตัล
แผ่นกันความร้อนกราไฟท์
หลอดอิเล็กโทรดกราไฟท์
ตัวเบี่ยงกราไฟท์
หัวจับกราไฟท์
กระบวนการทั้งหมดที่ใช้สำหรับการเติบโตของเซมิคอนดักเตอร์ crvstal ทำงานในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อน โซนร้อนของเตาเติบโตคริสตัลมักจะมีความบริสุทธิ์สูงทนความร้อนและทนต่อการกัดกร่อน ส่วนประกอบกราไฟท์ เช่น เครื่องทำความร้อนกราไฟท์ ถ้วยใส่ตัวอย่าง กระบอกสูบ ตัวเบี่ยง หัวจับ หลอด แหวน ที่จับ น็อต ฯลฯ ผลิตภัณฑ์สำเร็จรูปของเรามีปริมาณเถ้าน้อยกว่า 5ppm
กราไฟท์สำหรับเซมิดอนดักเตอร์ Epitaxy
ฐานกราไฟท์
กระบอกกราไฟท์ Epitaxial
Monocry Stalline Silicon Epitax Base
ชิ้นส่วนกราไฟท์ MOCVD
ฟิกซ์เจอร์กราไฟท์เซมิคอนดักเตอร์
กระบวนการอีปิแอกเซียลหมายถึงการเติบโตของวัสดุผลึกเดี่ยวบนซับสเตรตคริสตัลเดี่ยวที่มีการจัดเรียงแบบแลตทิซเดียวกันกับซับสเตรต ต้องใช้ชิ้นส่วนกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษและฐานกราไฟท์พร้อมการเคลือบ SIC กราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงที่ใช้สำหรับเซมิคอนดักเตอร์ epitaxy มีการใช้งานที่หลากหลาย ซึ่งสามารถจับคู่กับอุปกรณ์ที่ใช้บ่อยที่สุดในอุตสาหกรรม ขณะเดียวกันก็มีค่าสูงมาก ความบริสุทธิ์ การเคลือบสม่ำเสมอ อายุการใช้งานที่ดีเยี่ยม และทนต่อสารเคมีและเสถียรภาพทางความร้อนสูงมาก
วัสดุฉนวนและอื่นๆ
วัสดุฉนวนความร้อนที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ได้แก่ ผ้าสักหลาดแข็งกราไฟท์ ผ้าสักหลาดนุ่ม ฟอยล์กราไฟท์ วัสดุคอมโพสิตคาร์บอน ฯลฯ วัตถุดิบของเราเป็นวัสดุกราไฟท์นำเข้า ซึ่งสามารถตัดตามข้อกำหนดของลูกค้าและยังสามารถขายเป็น ทั้งหมด. วัสดุคอมโพสิตคาร์บอนมักใช้เป็นตัวพาสำหรับกระบวนการผลิตเซลล์โมโนคริสตัลและโพลีซิลิคอนจากแสงอาทิตย์