Semicera นำเสนอสินค้าสั่งทำคุณภาพสูงพายเท้าแขนซิลิกอนคาร์ไบด์สร้างขึ้นเพื่อยกระดับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ นวัตกรรมใหม่ไม้พาย SiCการออกแบบช่วยให้มั่นใจได้ถึงความทนทานเป็นพิเศษและความต้านทานความร้อนสูง ทำให้เป็นส่วนประกอบสำคัญสำหรับการจัดการแผ่นเวเฟอร์ในสภาพแวดล้อมที่ท้าทายอุณหภูมิสูง
ที่ไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์ถูกสร้างขึ้นเพื่อให้ทนทานต่อวงจรความร้อนที่รุนแรงในขณะที่ยังคงรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้าง ทำให้มั่นใจในการขนส่งเวเฟอร์ที่เชื่อถือได้ในระหว่างขั้นตอนสำคัญของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความแข็งแกร่งทางกลที่เหนือกว่านี้เรือเวเฟอร์ลดความเสี่ยงที่จะเกิดความเสียหายต่อเวเฟอร์ ส่งผลให้ได้ผลผลิตที่สูงขึ้นและคุณภาพการผลิตที่สม่ำเสมอ
หนึ่งในนวัตกรรมที่สำคัญในไม้พาย SiC ของ Semicera อยู่ที่ตัวเลือกการออกแบบที่กำหนดเอง ไม้พายได้รับการปรับแต่งให้ตรงตามความต้องการในการผลิตโดยเฉพาะ โดยให้ความยืดหยุ่นในการผสานรวมกับการตั้งค่าอุปกรณ์ต่างๆ ทำให้เป็นโซลูชันที่ดีเยี่ยมสำหรับกระบวนการผลิตสมัยใหม่ โครงสร้างน้ำหนักเบาแต่แข็งแกร่งช่วยให้ควบคุมได้ง่ายและลดเวลาหยุดทำงาน ซึ่งช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
นอกจากคุณสมบัติทางความร้อนและทางกลแล้วไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์ทนต่อสารเคมีได้ดีเยี่ยม ช่วยให้ทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือแม้ในสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรง ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับใช้ในกระบวนการที่เกี่ยวข้องกับการกัด การสะสม และการบำบัดที่อุณหภูมิสูง ซึ่งการรักษาความสมบูรณ์ของเวเฟอร์โบตเป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งในการรับประกันผลลัพธ์คุณภาพสูง
| คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่ | |
| คุณสมบัติ | ค่าทั่วไป |
| อุณหภูมิในการทำงาน (°C) | 1600°C (พร้อมออกซิเจน), 1700°C (ลดสภาพแวดล้อม) |
| เนื้อหา SiC | > 99.96% |
| เนื้อหาศรีฟรี | <0.1% |
| ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | 2.60-2.70 ก./ซม3 |
| มีความพรุนอย่างเห็นได้ชัด | < 16% |
| แรงอัด | > 600 เมกะปาสคาล |
| แรงดัดงอเย็น | 80-90 เมกะปาสคาล (20°ซ) |
| แรงดัดงอร้อน | 90-100 เมกะปาสคาล (1,400°C) |
| การขยายตัวทางความร้อนที่ 1500°C | 4.70 10-6/°ซ |
| การนำความร้อนที่ 1200°C | 23 วัตต์/เมตร•เค |
| โมดูลัสยืดหยุ่น | 240 เกรดเฉลี่ย |
| ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน | ดีมาก |
