Semicera เปิดตัวเซมิคอนดักเตอร์คุณภาพสูงพายเท้าแขนซิลิกอนคาร์ไบด์ได้รับการออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่
ที่พายซิลิคอนคาร์ไบด์มีการออกแบบขั้นสูงที่ลดการขยายตัวและการบิดงอจากความร้อน ทำให้มีความน่าเชื่อถือสูงในสภาวะที่รุนแรง โครงสร้างที่แข็งแกร่งช่วยเพิ่มความทนทาน ลดความเสี่ยงของการแตกหักหรือการสึกหรอ ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญในการรักษาผลผลิตที่สูงและคุณภาพการผลิตที่สม่ำเสมอ ที่เรือเวเฟอร์การออกแบบยังผสานรวมเข้ากับอุปกรณ์ประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์มาตรฐานได้อย่างราบรื่น ทำให้มั่นใจได้ถึงความเข้ากันได้และใช้งานง่าย
หนึ่งในคุณสมบัติที่โดดเด่นของ Semiceraไม้พาย SiCคือความทนทานต่อสารเคมี ซึ่งช่วยให้ทำงานได้ดีเป็นพิเศษในสภาพแวดล้อมที่สัมผัสกับก๊าซและสารเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อน การมุ่งเน้นที่การปรับแต่งของ Semicera ช่วยให้ได้โซลูชันที่ปรับให้เหมาะสม
คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่ | |
คุณสมบัติ | ค่าทั่วไป |
อุณหภูมิในการทำงาน (°C) | 1600°C (พร้อมออกซิเจน), 1700°C (ลดสภาพแวดล้อม) |
เนื้อหา SiC | > 99.96% |
เนื้อหาศรีฟรี | <0.1% |
ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | 2.60-2.70 ก./ซม3 |
มีความพรุนอย่างเห็นได้ชัด | < 16% |
แรงอัด | > 600 เมกะปาสคาล |
แรงดัดงอเย็น | 80-90 เมกะปาสคาล (20°ซ) |
แรงดัดงอร้อน | 90-100 เมกะปาสคาล (1,400°C) |
การขยายตัวทางความร้อนที่ 1500°C | 4.70 10-6/°ซ |
การนำความร้อนที่ 1200°C | 23 วัตต์/เมตร•เค |
โมดูลัสยืดหยุ่น | 240 เกรดเฉลี่ย |
ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน | ดีมาก |