เรือกราไฟท์ PECVD แบบไอโซสแตติกของ SEMICERA เป็นผลิตภัณฑ์กราไฟท์ความหนาแน่นสูงที่มีความบริสุทธิ์สูง ออกแบบมาเพื่อรองรับแผ่นเวเฟอร์ในกระบวนการ PECVD (การสะสมไอสารเคมีด้วยพลาสมาเสริม) SEMICERA ใช้เทคโนโลยีการกดแบบไอโซสแตติกขั้นสูงเพื่อให้แน่ใจว่าเรือกราไฟท์มีความทนทานต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ความคงตัวของขนาด และการนำความร้อนได้ดีเป็นเลิศ ซึ่งเป็นวัสดุสิ้นเปลืองที่ขาดไม่ได้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
เรือกราไฟท์ PECVD แบบ isostatic ของ SEMICERA มีข้อดีดังต่อไปนี้:
▪ ความบริสุทธิ์สูง: วัสดุกราไฟท์มีความบริสุทธิ์สูงและมีปริมาณสิ่งเจือปนต่ำ เพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของพื้นผิวเวเฟอร์
▪ ความหนาแน่นสูง: ความหนาแน่นสูง ความแข็งแรงเชิงกลสูง สามารถทนต่ออุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูงได้
▪ ความคงตัวของขนาดที่ดี: การเปลี่ยนแปลงขนาดเล็กน้อยที่อุณหภูมิสูงเพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรของกระบวนการ
▪ การนำความร้อนที่ดีเยี่ยม: ถ่ายเทความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อป้องกันเวเฟอร์ร้อนเกินไป
▪ ทนทานต่อการกัดกร่อนสูง: สามารถต้านทานการกัดเซาะของก๊าซและพลาสมาที่มีฤทธิ์กัดกร่อนต่างๆ
| พารามิเตอร์ประสิทธิภาพ | เซมิเซรา | เอสจีแอล R6510 | พารามิเตอร์ประสิทธิภาพ |
| ความหนาแน่นรวม (g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
| แรงดัดงอ (MPa) | 63 | 60 | 49 |
| กำลังอัด (MPa) | 135 | 130 | 103 |
| ความแข็งฝั่ง (HS) | 70 | 64 | 60 |
| ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (10-6/K) | 85 | 105 | 130 |
| ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (10-6/K) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
| ความต้านทาน (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
ข้อดีของการเลือกเรา:
▪ การเลือกใช้วัสดุ: ใช้วัสดุกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเพื่อรับประกันคุณภาพของผลิตภัณฑ์
▪ เทคโนโลยีการประมวลผล: ใช้การกดแบบไอโซสแตติกเพื่อให้แน่ใจว่าผลิตภัณฑ์มีความหนาแน่นและความสม่ำเสมอ
▪ การปรับแต่งขนาด: เรือกราไฟท์ที่มีขนาดและรูปร่างต่างกันสามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของลูกค้า
▪ การรักษาพื้นผิว: มีวิธีการรักษาพื้นผิวที่หลากหลาย เช่น การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ โบรอนไนไตรด์ ฯลฯ เพื่อตอบสนองความต้องการของกระบวนการที่แตกต่างกัน
