ชั้นอีปิแอกเชียลเป็นฟิล์มผลึกเดี่ยวเฉพาะที่เติบโตบนเวเฟอร์โดยกระบวนการอีพิแอกเซียล และเวเฟอร์ซับสเตรตและฟิล์มอีพิแอกเซียลเรียกว่าเวเฟอร์อีพิแอกเซียล ด้วยการเพิ่มชั้นอีพิแทกเซียลของซิลิคอนคาร์ไบด์บนซับสเตรตของซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้า ทำให้ชั้นอีพิแทกเซียลที่เป็นเนื้อเดียวกันของซิลิคอนคาร์ไบด์...
อ่านเพิ่มเติม