ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)เป็นสารประกอบอนินทรีย์ที่มีคุณสมบัติพิเศษ SiC ที่เกิดขึ้นตามธรรมชาติหรือที่เรียกว่ามอยซาไนต์นั้นค่อนข้างหายาก ในงานอุตสาหกรรมซิลิคอนคาร์ไบด์ส่วนใหญ่ผลิตด้วยวิธีสังเคราะห์
ที่ Semicera Semiconductor เราใช้เทคนิคขั้นสูงในการผลิตผง SiC คุณภาพสูง.
วิธีการของเราได้แก่:
วิธีการแบบแอจิสัน:กระบวนการลดความร้อนจากคาร์บอนแบบดั้งเดิมนี้เกี่ยวข้องกับการผสมทรายควอทซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงหรือแร่ควอทซ์บดกับโค้กปิโตรเลียม กราไฟท์ หรือผงแอนทราไซต์ จากนั้นให้ความร้อนส่วนผสมนี้ที่อุณหภูมิเกิน 2000°C โดยใช้อิเล็กโทรดกราไฟท์ ซึ่งส่งผลให้เกิดการสังเคราะห์ผง α-SiC
การลดความร้อนจากคาร์บอนไดออกไซด์ที่อุณหภูมิต่ำ:ด้วยการรวมผงละเอียดซิลิกาเข้ากับผงคาร์บอนและทำปฏิกิริยาที่ 1500 ถึง 1800°C เราจึงผลิตผง β-SiC ที่มีความบริสุทธิ์เพิ่มขึ้น เทคนิคนี้คล้ายกับวิธีของ Acheson แต่ที่อุณหภูมิต่ำกว่า จะให้ β-SiC ที่มีโครงสร้างผลึกที่โดดเด่น อย่างไรก็ตาม จำเป็นต้องมีกระบวนการหลังการประมวลผลเพื่อกำจัดคาร์บอนและซิลิคอนไดออกไซด์ที่ตกค้าง
ปฏิกิริยาโดยตรงของซิลิคอน-คาร์บอน:วิธีนี้เกี่ยวข้องกับการทำปฏิกิริยาโดยตรงกับผงโลหะซิลิคอนกับผงคาร์บอนที่อุณหภูมิ 1000-1400°C เพื่อผลิตผง β-SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง ผง α-SiC ยังคงเป็นวัตถุดิบสำคัญสำหรับเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ ในขณะที่ β-SiC ซึ่งมีโครงสร้างคล้ายเพชร เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการเจียรและขัดเงาที่แม่นยำ
ซิลิคอนคาร์ไบด์มีรูปแบบผลึกหลักสองรูปแบบ:α และ β β-SiC พร้อมระบบลูกบาศก์คริสตัล มีโครงตาข่ายลูกบาศก์ตรงกลางใบหน้าสำหรับทั้งซิลิคอนและคาร์บอน ในทางตรงกันข้าม α-SiC มีโพลีไทป์ต่างๆ เช่น 4H, 15R และ 6H โดยที่ 6H เป็นประเภทที่ใช้กันมากที่สุดในอุตสาหกรรม อุณหภูมิส่งผลต่อความเสถียรของโพลีไทป์เหล่านี้: β-SiC มีความเสถียรต่ำกว่า 1,600°C แต่เหนืออุณหภูมินี้ β-SiC จะค่อยๆ เปลี่ยนไปเป็นโพลีไทป์ α-SiC ตัวอย่างเช่น 4H-SiC ก่อตัวขึ้นประมาณ 2000°C ในขณะที่โพลีไทป์ 15R และ 6H ต้องการอุณหภูมิสูงกว่า 2100°C โดยเฉพาะอย่างยิ่ง 6H-SiC ยังคงเสถียรแม้ที่อุณหภูมิเกิน 2200°C
ที่ Semicera Semiconductor เราทุ่มเทให้กับการพัฒนาเทคโนโลยี SiC ที่ล้ำหน้า ความเชี่ยวชาญของเราในด้านการเคลือบ SiCและวัสดุช่วยให้มั่นใจในคุณภาพและประสิทธิภาพระดับสูงสุดสำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ของคุณ สำรวจว่าโซลูชันที่ล้ำสมัยของเราสามารถปรับปรุงกระบวนการและผลิตภัณฑ์ของคุณได้อย่างไร
เวลาโพสต์: 26 ก.ค.-2024