เป็นหนึ่งในองค์ประกอบหลักของอุปกรณ์เอ็มโอซีวีดีฐานกราไฟท์เป็นตัวพาและตัวทำความร้อนของสารตั้งต้น ซึ่งกำหนดความสม่ำเสมอและความบริสุทธิ์ของวัสดุฟิล์มโดยตรง ดังนั้นคุณภาพจึงส่งผลโดยตรงต่อการเตรียมแผ่น epitaxis และในเวลาเดียวกัน ด้วยการเพิ่มจำนวน การใช้งานและการเปลี่ยนแปลงสภาพการทำงานทำให้สวมใส่ได้ง่ายมากเป็นของวัสดุสิ้นเปลือง
แม้ว่ากราไฟท์จะมีการนำความร้อนและความเสถียรที่ดีเยี่ยม แต่ก็มีข้อได้เปรียบที่ดีในฐานะส่วนประกอบพื้นฐานอุปกรณ์เอ็มโอซีวีดีแต่ในกระบวนการผลิต กราไฟท์จะกัดกร่อนผงเนื่องจากการตกค้างของก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและสารอินทรีย์ที่เป็นโลหะ และอายุการใช้งานของฐานกราไฟท์จะลดลงอย่างมาก ในเวลาเดียวกัน ผงกราไฟท์ที่ตกลงมาจะทำให้เกิดมลภาวะต่อชิป
การเกิดขึ้นของเทคโนโลยีการเคลือบสามารถทำให้เกิดการยึดเกาะของผงพื้นผิว เพิ่มการนำความร้อน และกระจายความร้อนให้เท่ากัน ซึ่งกลายเป็นเทคโนโลยีหลักในการแก้ปัญหานี้ ฐานกราไฟท์ในอุปกรณ์เอ็มโอซีวีดีสภาพแวดล้อมการใช้งาน การเคลือบผิวฐานกราไฟท์ควรมีคุณสมบัติดังต่อไปนี้:
(1) ฐานกราไฟท์สามารถห่อได้เต็มที่และมีความหนาแน่นดี มิฉะนั้นฐานกราไฟท์จะสึกกร่อนได้ง่ายในก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน
(2) ความแข็งแรงรวมกับฐานกราไฟท์สูงเพื่อให้แน่ใจว่าการเคลือบไม่หลุดออกง่ายหลังจากรอบอุณหภูมิสูงและอุณหภูมิต่ำหลายครั้ง
(3) มีเสถียรภาพทางเคมีที่ดีเพื่อหลีกเลี่ยงความล้มเหลวของการเคลือบในอุณหภูมิสูงและบรรยากาศที่มีฤทธิ์กัดกร่อน
SiC มีข้อได้เปรียบในด้านความต้านทานการกัดกร่อน ค่าการนำความร้อนสูง ความต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิและความเสถียรทางเคมีสูง และสามารถทำงานได้ดีในบรรยากาศแบบ epitaxis ของ GaN นอกจากนี้ ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนของ SiC แตกต่างจากค่าสัมประสิทธิ์ของกราไฟท์เพียงเล็กน้อย ดังนั้น SiC จึงเป็นวัสดุที่ต้องการสำหรับการเคลือบพื้นผิวของฐานกราไฟท์
ปัจจุบัน SiC ทั่วไปส่วนใหญ่เป็นประเภท 3C, 4H และ 6H และการใช้ SiC ของคริสตัลประเภทต่างๆ นั้นแตกต่างกัน ตัวอย่างเช่น 4H-SiC สามารถผลิตอุปกรณ์กำลังสูงได้ 6H-SiC มีความเสถียรที่สุดและสามารถผลิตอุปกรณ์โฟโตอิเล็กทริคได้ เนื่องจากมีโครงสร้างคล้ายกับ GaN จึงสามารถใช้ 3C-SiC เพื่อสร้างชั้น epitaxis ของ GaN และผลิตอุปกรณ์ RF SiC-GaN ได้ 3C-SiC มีชื่อเรียกอีกอย่างหนึ่งว่าβ-SiC และการใช้งานที่สำคัญของβ-SiC เปรียบเสมือนฟิล์มและวัสดุเคลือบดังนั้นβ-SiC เป็นวัสดุหลักในการเคลือบในปัจจุบัน
เวลาโพสต์: Nov-06-2023