บทนำของผู้ให้บริการเวเฟอร์
หมวดสินค้า
ระบบตัวพาเวเฟอร์สำหรับกระบวนการ PECVD และ TALOX
• เรือกราไฟท์ PECVD และ TALOX (M4~M12)
• เรือ SM แนวตั้ง (M4, M6)
• รากเทียมและฝักบัวชิ้นส่วนกราไฟท์ (M4~M6)
• ถาด C/C และเคลือบเซรามิก
• ถาดโลหะ RIE และเคลือบเซรามิก
• การซีลสูญญากาศ : โอริง และ SQ-Ring
กระบวนการถ่ายโอนพื้นผิวและการแกะสลักแบบเปียก
• LSC H-Carrier หรือคาสเซ็ตต์ (M4~M12)
• LSC V-Carrier หรือเทปคาสเซ็ต (M4~M12)
• ASC Carrier หรือคาสเซ็ตต์ (M4, M6)
• W/F Carrier & Storage Box (M4~M12)
• ล้อขนส่ง (ลูกกลิ้ง) Series
ผู้ให้บริการเซลล์แสงอาทิตย์และผู้ให้บริการโลหะ
• โครงใส่หรือเทปคาสเซ็ต TRC (M4~M12)
• นิตยสาร (พร้อมเข็มขัด)
เรือกราไฟท์ (H-Type)
19P6-216CT (WF M4~M12)
เรือกราไฟท์ (H-Type)
21P6-240CT WF M4~M12)
เรือกราไฟท์ (H-Type)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
เรือกราไฟท์ (H-Type)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
เรือกราไฟท์ (H-Type)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF CARRIER & กล่องเก็บของ (~M12)
ถาด C/C หรือผู้ให้บริการ (M4~M10)
ถาด C/C หรือผู้ให้บริการ (M4~M10)
เรือแนวตั้ง (SM) M6
LSC-H-ผู้ให้บริการ(~M12)
LSC-V-ผู้ให้บริการ(~M12)
ผู้ให้บริการ ASC (~M6)
ผู้ให้บริการ TRC (~M12)
ผู้ให้บริการ TRC (~M12)
เรือกราไฟท์ (M12)
ระบบตัวพาเวเฟอร์สำหรับกระบวนการ PECVD
▶ เรือกราไฟท์ (ออกแบบโดย CT) กระบวนการ M10/M12
• แนวคิดการออกแบบพิเศษ
▶ เรือกราไฟท์ (ออกแบบโดย CT) กระบวนการ M4/M6
▶ ชิ้นส่วนตกแต่งเรือ
▶ เรือแนวตั้ง-เวเฟอร์ 161.7 มม
▶ เรือแนวตั้ง - เวเฟอร์ 166 มม
▶ เรือแนวตั้ง-161.7 มม., เวเฟอร์ 166 มม
ผู้ให้บริการเซลล์แสงอาทิตย์ & ผู้ให้บริการโลหะ TRC
ประเภท : ระบบอัตโนมัติ
ขนาดเวเฟอร์ : 156×156MM 2 156.75×156.75MM
④166x166MM
⑤ 180×180มม. ⑥ 210×210มม
การใช้งาน : พกพา (เทป)
ความจุ : 100 แผ่น
ระยะพิทช์ : 4.76มม./5.953มม./6.35มม
ขนาด : ประมาณ 559×220×220MM
ประมาณ 712×260×260มม
ข้อดี : บรรยากาศ
วัสดุ : เปลวไฟ, แถบด้านข้าง-อลูมิเนียม (อโนไดซ์)
แผ่นด้านข้าง-POM (ป้องกันไฟฟ้าสถิต)
ฝาครอบแถบด้านล่าง-EPDM/PU/VITON (ASE)
ผู้ให้บริการ TRC-METAL (สาย U'SER)
ผู้ให้บริการ TRC-METAL (สาย U'SER)
ผู้ให้บริการ TRC-METAL (สาย U'SER)
แผ่นอาบน้ำและรากฟันเทียม, ผู้ให้บริการ
