พีเอฟเอ คาสเซ็ตต์

คำอธิบายสั้น ๆ :

พีเอฟเอ คาสเซ็ตต์– สัมผัสประสบการณ์การทนทานต่อสารเคมีและความทนทานที่ไม่มีใครเทียบได้ด้วย PFA Cassette ของ Semicera ซึ่งเป็นโซลูชันที่ดีเยี่ยมสำหรับการจัดการแผ่นเวเฟอร์ที่ปลอดภัยและมีประสิทธิภาพในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

เซมิเซรามีความยินดีที่จะนำเสนอพีเอฟเอ คาสเซ็ตต์ตัวเลือกระดับพรีเมียมสำหรับการจัดการแผ่นเวเฟอร์ในสภาพแวดล้อมที่ความทนทานต่อสารเคมีและความทนทานเป็นสิ่งสำคัญยิ่ง คาสเซ็ตนี้สร้างขึ้นจากวัสดุเปอร์ฟลูออโรอัลคอกซี (PFA) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ได้รับการออกแบบมาให้ทนทานต่อสภาวะที่มีความต้องการสูงสุดในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เพื่อให้มั่นใจในความปลอดภัยและความสมบูรณ์ของเวเฟอร์ของคุณ

ทนต่อสารเคมีที่ไม่มีใครเทียบได้ที่พีเอฟเอ คาสเซ็ตต์ได้รับการออกแบบมาเพื่อให้ทนทานต่อสารเคมีหลายชนิดได้เหนือกว่า ทำให้เป็นตัวเลือกที่สมบูรณ์แบบสำหรับกระบวนการที่เกี่ยวข้องกับกรดที่มีฤทธิ์รุนแรง ตัวทำละลาย และสารเคมีรุนแรงอื่นๆ ความทนทานต่อสารเคมีที่แข็งแกร่งนี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าตลับคาสเซ็ตยังคงสภาพเดิมและใช้งานได้แม้ในสภาพแวดล้อมที่มีการกัดกร่อนมากที่สุด จึงช่วยยืดอายุการใช้งานและลดความจำเป็นในการเปลี่ยนบ่อยครั้ง

โครงสร้างที่มีความบริสุทธิ์สูงเซมิเซร่าพีเอฟเอ คาสเซ็ตต์ผลิตจากวัสดุ PFA บริสุทธิ์พิเศษ ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งในการป้องกันการปนเปื้อนระหว่างการประมวลผลเวเฟอร์ โครงสร้างที่มีความบริสุทธิ์สูงนี้ช่วยลดความเสี่ยงของการเกิดอนุภาคและการชะล้างสารเคมี ทำให้มั่นใจได้ว่าเวเฟอร์ของคุณจะได้รับการปกป้องจากสิ่งสกปรกที่อาจส่งผลต่อคุณภาพ

ความทนทานและประสิทธิภาพที่เพิ่มขึ้นออกแบบมาเพื่อความทนทานพีเอฟเอ คาสเซ็ตต์รักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างภายใต้อุณหภูมิที่สูงมากและสภาวะการประมวลผลที่เข้มงวด ไม่ว่าจะสัมผัสกับอุณหภูมิสูงหรือต้องผ่านการจัดการซ้ำๆ คาสเซ็ตนี้ยังคงรูปร่างและประสิทธิภาพไว้ โดยให้ความน่าเชื่อถือในระยะยาวในสภาพแวดล้อมการผลิตที่มีความต้องการสูง

วิศวกรรมที่มีความแม่นยำเพื่อการจัดการที่ปลอดภัยที่Semicera PFA ตลับมีวิศวกรรมที่แม่นยำซึ่งรับประกันการจัดการเวเฟอร์ที่ปลอดภัยและเสถียร แต่ละช่องได้รับการออกแบบอย่างระมัดระวังเพื่อยึดเวเฟอร์ให้เข้าที่อย่างแน่นหนา ป้องกันการเคลื่อนไหวหรือการขยับที่อาจส่งผลให้เกิดความเสียหาย วิศวกรรมที่มีความแม่นยำนี้สนับสนุนการวางตำแหน่งเวเฟอร์ที่สม่ำเสมอและแม่นยำ ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการโดยรวม

แอปพลิเคชันอเนกประสงค์ข้ามกระบวนการด้วยคุณสมบัติของวัสดุที่เหนือกว่าพีเอฟเอ คาสเซ็ตต์มีความหลากหลายพอที่จะนำไปใช้ในขั้นตอนต่างๆ ของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการกัดแบบเปียก การสะสมไอสารเคมี (CVD) และกระบวนการอื่นๆ ที่เกี่ยวข้องกับสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรง ความสามารถในการปรับตัวทำให้เป็นเครื่องมือสำคัญในการรักษาความสมบูรณ์ของกระบวนการและคุณภาพของเวเฟอร์

ความมุ่งมั่นต่อคุณภาพและนวัตกรรมที่ Semicera เรามุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่ตรงตามมาตรฐานอุตสาหกรรมสูงสุด ที่พีเอฟเอ คาสเซ็ตต์เป็นตัวอย่างให้เห็นถึงความมุ่งมั่นนี้ โดยนำเสนอโซลูชันที่เชื่อถือได้ซึ่งผสานรวมเข้ากับกระบวนการผลิตของคุณได้อย่างราบรื่น คาสเซ็ตแต่ละอันผ่านการควบคุมคุณภาพอย่างเข้มงวดเพื่อให้แน่ใจว่าเป็นไปตามเกณฑ์ประสิทธิภาพที่เข้มงวดของเรา ซึ่งมอบความเป็นเลิศที่คุณคาดหวังจาก Semicera

รายการ

การผลิต

วิจัย

หุ่นเชิด

พารามิเตอร์คริสตัล

โพลีไทป์

4H

ข้อผิดพลาดในการวางแนวพื้นผิว

<11-20 >4±0.15°

พารามิเตอร์ทางไฟฟ้า

สารเจือปน

ไนโตรเจนชนิด n

ความต้านทาน

0.015-0.025โอห์ม·ซม

พารามิเตอร์ทางกล

เส้นผ่านศูนย์กลาง

150.0±0.2มม

ความหนา

350±25 ไมโครเมตร

ปฐมนิเทศแนวราบ

[1-100]±5°

ความยาวแบนหลัก

47.5±1.5มม

แฟลตรอง

ไม่มี

ทีทีวี

≤5 ไมโครเมตร

≤10 ไมโครเมตร

≤15 ไมโครเมตร

LTV

≤3μm (5 มม. * 5 มม.)

≤5μm (5 มม. * 5 มม.)

≤10μm (5 มม. * 5 มม.)

โค้งคำนับ

-15ไมโครเมตร ~ 15ไมโครเมตร

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

วาร์ป

≤35 ไมโครเมตร

≤45 ไมโครเมตร

≤55 ไมโครเมตร

ความหยาบด้านหน้า (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

โครงสร้าง

ความหนาแน่นของไมโครไพพ์

<1 ตัว/cm2

<10 ตัว/ซม.2

<15 ตัว/ซม.2

สิ่งเจือปนของโลหะ

≤5E10อะตอม/ซม.2

NA

บีพีดี

≤1500 ตัว/cm2

≤3000ตัว/cm2

NA

ศูนย์รับฝาก

≤500 ตัว/cm2

≤1,000 ตัว/cm2

NA

คุณภาพด้านหน้า

ด้านหน้า

Si

การตกแต่งพื้นผิว

ซี-เฟซ ซีเอ็มพี

อนุภาค

≤60ea/เวเฟอร์ (ขนาด≥0.3μm)

NA

รอยขีดข่วน

≤5ea/มม. ความยาวสะสม ≤เส้นผ่านศูนย์กลาง

ความยาวสะสม≤2*เส้นผ่านศูนย์กลาง

NA

เปลือกส้ม/หลุม/คราบ/ริ้ว/รอยแตก/การปนเปื้อน

ไม่มี

NA

เศษขอบ/รอยเยื้อง/การแตกหัก/แผ่นฐานสิบหก

ไม่มี

พื้นที่โพลีไทป์

ไม่มี

พื้นที่สะสม≤20%

พื้นที่สะสม≤30%

เลเซอร์มาร์กด้านหน้า

ไม่มี

คุณภาพกลับ

ด้านหลังเสร็จ

CMP หน้าซี

รอยขีดข่วน

≤5ea/mm ความยาวสะสม≤2*เส้นผ่านศูนย์กลาง

NA

ข้อบกพร่องด้านหลัง (รอยบิ่น/รอยเยื้อง)

ไม่มี

กลับหยาบกร้าน

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

เลเซอร์มาร์กหลัง

1 มม. (จากขอบด้านบน)

ขอบ

ขอบ

แชมเฟอร์

บรรจุภัณฑ์

บรรจุภัณฑ์

พร้อม Epi พร้อมบรรจุภัณฑ์สูญญากาศ

บรรจุภัณฑ์คาสเซ็ตต์แบบหลายเวเฟอร์

*หมายเหตุ: "NA" หมายถึงไม่มีการร้องขอ รายการที่ไม่ได้กล่าวถึงอาจหมายถึง SEMI-STD

เทคโนโลยี_1_2_ขนาด
เวเฟอร์ SiC

  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป: