บริษัทเราจัดให้การเคลือบ SiCบริการกระบวนการบนพื้นผิวกราไฟท์ เซรามิก และวัสดุอื่นๆ โดยวิธี CVD เพื่อให้ก๊าซพิเศษที่มีคาร์บอนและซิลิกอนสามารถทำปฏิกิริยาที่อุณหภูมิสูงเพื่อให้ได้โมเลกุล Sic ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งสามารถสะสมอยู่บนพื้นผิวของวัสดุเคลือบเพื่อสร้างชั้นป้องกัน SiCสำหรับ epitaxy ประเภทบาร์เรล hy pnotic
คุณสมบัติหลัก:
1. กราไฟท์เคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง
2. ทนความร้อนได้ดีกว่าและความสม่ำเสมอทางความร้อน
3. ก็ได้เคลือบคริสตัล SiCเพื่อพื้นผิวที่เรียบเนียน
4. มีความทนทานสูงต่อการทำความสะอาดด้วยสารเคมี
ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC
| คุณสมบัติ SiC-CVD | ||
| โครงสร้างคริสตัล | เฟส FCC β | |
| ความหนาแน่น | กรัม/ซม. ³ | 3.21 |
| ความแข็ง | ความแข็งของวิคเกอร์ | 2500 |
| ขนาดเกรน | ไมโครเมตร | 2~10 |
| ความบริสุทธิ์ของสารเคมี | % | 99.99995 |
| ความจุความร้อน | เจ·กก-1 ·K-1 | 640 |
| อุณหภูมิระเหิด | ℃ | 2700 |
| ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์ | MPa (RT 4 จุด) | 415 |
| โมดูลัสของยัง | เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C) | 430 |
| การขยายความร้อน (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| การนำความร้อน | (W/mK) | 300 |
