เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์

คุณสมบัติผลิตภัณฑ์ SiC

ทนต่ออุณหภูมิสูงและการกัดกร่อน ปรับปรุงคุณภาพเวเฟอร์และผลผลิต

SiC หมายถึงซิลิคอนคาร์ไบด์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ทำจากทรายควอทซ์ โค้ก และวัตถุดิบอื่นๆ ผ่านการหลอมด้วยเตาอุณหภูมิสูง การผลิตทางอุตสาหกรรมของซิลิคอนคาร์ไบด์ในปัจจุบันมีสองประเภทคือซิลิกอนคาร์ไบด์สีดำและซิลิกอนคาร์ไบด์สีเขียว ทั้งสองเป็นผลึกหกเหลี่ยม ความถ่วงจำเพาะ 3.21g / cm3 ความแข็งระดับไมโคร 2840 ~ 3320kg / mm2

ซิลิกอนคาร์ไบด์ผลึกอย่างน้อย 70 ชนิด เนื่องจากแรงโน้มถ่วงต่ำ 3.21g/cm3 และความแข็งแรงที่อุณหภูมิสูง จึงเหมาะสำหรับตลับลูกปืนหรือวัตถุดิบเตาอุณหภูมิสูง ไม่สามารถเข้าถึงได้ที่ความดันใด ๆ และมีกิจกรรมทางเคมีต่ำมาก

ในเวลาเดียวกัน หลายๆ คนได้พยายามเปลี่ยนซิลิคอนด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์ เนื่องจากมีค่าการนำความร้อนสูง ความแรงของสนามไฟฟ้าบดอัดสูง และความหนาแน่นกระแสสูงสุดสูง เมื่อเร็ว ๆ นี้ในการประยุกต์ใช้ส่วนประกอบพลังงานสูงของเซมิคอนดักเตอร์ ในความเป็นจริง พื้นผิวซิลิคอนคาร์ไบด์มีค่าการนำความร้อนสูงกว่าพื้นผิวแซฟไฟร์มากกว่า 10 เท่า ดังนั้นการใช้ส่วนประกอบ LED ของพื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีการนำไฟฟ้าที่ดีและการนำความร้อน ค่อนข้างเอื้อต่อการผลิต LED กำลังสูง