คำอธิบาย
ตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiC ของ Semicera ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมโดยใช้ซับสเตรตกราไฟท์คุณภาพสูง ซึ่งเคลือบอย่างพิถีพิถันด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ผ่านกระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD) ขั้นสูง การออกแบบเชิงนวัตกรรมนี้รับประกันความทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันและการเสื่อมสภาพทางเคมี ยืดอายุการใช้งานของตัวรับกราไฟท์ที่เคลือบ SiC ได้อย่างมาก และรับประกันประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ตลอดกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
คุณสมบัติที่สำคัญ：
1. การนำความร้อนที่เหนือกว่าตัวรับกราไฟท์ที่เคลือบ SiC มีค่าการนำความร้อนที่โดดเด่น ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการกระจายความร้อนอย่างมีประสิทธิภาพในระหว่างการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ คุณลักษณะนี้ช่วยลดการไล่ระดับความร้อนบนพื้นผิวเวเฟอร์ ส่งเสริมการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอซึ่งจำเป็นสำหรับการบรรลุคุณสมบัติของเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการ
2. ทนทานต่อแรงกระแทกจากสารเคมีและความร้อนการเคลือบ SiC ให้การป้องกันการกัดกร่อนของสารเคมีและการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน โดยรักษาความสมบูรณ์ของตัวรับกราไฟท์แม้ในสภาพแวดล้อมการประมวลผลที่รุนแรง ความทนทานที่เพิ่มขึ้นนี้ช่วยลดเวลาหยุดทำงานและยืดอายุการใช้งาน ส่งผลให้เพิ่มผลผลิตและประหยัดต้นทุนในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์
3. การปรับแต่งตามความต้องการเฉพาะตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiC ของเราสามารถปรับแต่งให้ตรงตามข้อกำหนดและความชอบเฉพาะได้ เรานำเสนอตัวเลือกการปรับแต่งที่หลากหลาย รวมถึงการปรับขนาดและความหนาของการเคลือบที่หลากหลาย เพื่อให้มั่นใจถึงความยืดหยุ่นในการออกแบบและประสิทธิภาพที่เหมาะสมที่สุดสำหรับการใช้งานและพารามิเตอร์กระบวนการที่แตกต่างกัน
การใช้งาน：
การประยุกต์ใช้งาน การเคลือบ Semicera SiC ถูกนำมาใช้ในขั้นตอนต่างๆ ของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งรวมถึง:
1. -การผลิตชิป LED
2. -การผลิตโพลีซิลิคอน
3. -การเติบโตของคริสตัลเซมิคอนดักเตอร์
4. - ซิลิคอนและ SiC Epitaxy
5. - การออกซิเดชันและการแพร่กระจายความร้อน (TO&D)
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค：
