วงแหวนไกด์กราไฟท์เคลือบ TaCหมายถึงการทับถมของชั้นบาง ๆ ของแทนทาลัมคาร์ไบด์บนพื้นผิวของวงแหวนนำกราไฟท์เพื่อปรับปรุงความต้านทานการสึกหรอ ทนต่ออุณหภูมิสูง และความเสถียรทางเคมี การเคลือบนี้มักจะเกิดขึ้นบนพื้นผิวของวงแหวนนำกราไฟท์โดยเทคนิคต่างๆ เช่น การสะสมไอทางกายภาพ (PVD) หรือการสะสมไอสารเคมี (CVD)
Semicera มีการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) แบบพิเศษสำหรับส่วนประกอบและตัวพาต่างๆกระบวนการเคลือบชั้นนำของ Semicera ช่วยให้การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) บรรลุความบริสุทธิ์สูง ความเสถียรต่ออุณหภูมิสูง และความทนทานต่อสารเคมีสูง ปรับปรุงคุณภาพผลิตภัณฑ์ของผลึก SIC/GAN และชั้น EPI (ตัวรับ TaC ที่เคลือบด้วยกราไฟท์) และยืดอายุของส่วนประกอบเครื่องปฏิกรณ์ที่สำคัญ การใช้การเคลือบ TaC แทนทาลัมคาร์ไบด์คือการแก้ปัญหาขอบและปรับปรุงคุณภาพของการเติบโตของผลึก และ Semicera ได้ค้นพบความก้าวหน้าในการแก้ปัญหาเทคโนโลยีการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (CVD) ซึ่งก้าวไปสู่ระดับสูงระดับสากล
หลังจากหลายปีของการพัฒนา Semicera ได้พิชิตเทคโนโลยีของCVD TaCด้วยความพยายามร่วมกันของแผนก R&D ข้อบกพร่องเกิดขึ้นได้ง่ายในกระบวนการเจริญเติบโตของเวเฟอร์ SiC แต่หลังจากใช้งานแล้วแทคความแตกต่างมีนัยสำคัญ ด้านล่างนี้คือการเปรียบเทียบเวเฟอร์ที่มีและไม่มี TaC รวมถึงชิ้นส่วนของ Simicera สำหรับการเติบโตของผลึกเดี่ยว
คุณสมบัติหลักของวงแหวนนำทางกราไฟท์เคลือบ TaC ประกอบด้วย:
1. ทนต่ออุณหภูมิสูง: การเคลือบ TaC มีเสถียรภาพในอุณหภูมิสูงที่ดีเยี่ยมและสามารถรักษาเสถียรภาพในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงได้
2. ความต้านทานการสึกหรอ: ความแข็งสูงของชั้นบาง ๆ ของแทนทาลัมคาร์ไบด์ทำให้วงแหวนนำทางมีความต้านทานการสึกหรอที่ดีและยืดอายุการใช้งาน
3. ความเสถียรทางเคมี: การเคลือบ TaC มีความเสถียรสูงต่อการกัดกร่อนของสารเคมี ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานกับตัวกลางที่มีฤทธิ์กัดกร่อนบางชนิด
4. ลดแรงเสียดทาน: การเคลือบ TaC สามารถลดแรงเสียดทานระหว่างวงแหวนนำกราไฟท์และส่วนประกอบอื่น ๆ ได้อย่างมีประสิทธิภาพและปรับปรุงประสิทธิภาพของซีลเชิงกล
มีและไม่มี TaC
หลังจากใช้ TaC (ขวา)
ยิ่งไปกว่านั้น Semicera'sผลิตภัณฑ์เคลือบ TaCมีอายุการใช้งานยาวนานขึ้นและทนต่ออุณหภูมิสูงได้ดีกว่าเมื่อเทียบกับการเคลือบ SiC.การตรวจวัดในห้องปฏิบัติการได้แสดงให้เห็นว่าของเราการเคลือบ TaCสามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่องที่อุณหภูมิสูงถึง 2300 องศาเซลเซียส เป็นระยะเวลานาน ด้านล่างนี้เป็นตัวอย่างบางส่วนของตัวอย่างของเรา:
