Semicera มีการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) แบบพิเศษสำหรับส่วนประกอบและตัวพาต่างๆกระบวนการเคลือบชั้นนำของ Semicera ช่วยให้การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) บรรลุความบริสุทธิ์สูง ความเสถียรต่ออุณหภูมิสูง และความทนทานต่อสารเคมีสูง ปรับปรุงคุณภาพผลิตภัณฑ์ของผลึก SIC/GAN และชั้น EPI (ตัวรับ TaC ที่เคลือบด้วยกราไฟท์) และยืดอายุของส่วนประกอบเครื่องปฏิกรณ์ที่สำคัญ การใช้การเคลือบ TaC แทนทาลัมคาร์ไบด์คือการแก้ปัญหาขอบและปรับปรุงคุณภาพของการเติบโตของผลึก และ Semicera ได้ค้นพบความก้าวหน้าในการแก้ปัญหาเทคโนโลยีการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (CVD) ซึ่งก้าวไปสู่ระดับสูงระดับสากล
ตัวพาเวเฟอร์เคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการแปรรูปและการจัดการเวเฟอร์ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ให้การสนับสนุนและการป้องกันที่มั่นคงเพื่อให้มั่นใจในความปลอดภัย ความถูกต้อง และความสม่ำเสมอของเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการผลิต การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์สามารถยืดอายุการใช้งานของตัวพา ลดต้นทุน และปรับปรุงคุณภาพและความน่าเชื่อถือของผลิตภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์
คำอธิบายของตัวพาเวเฟอร์เคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์มีดังนี้:
1. การเลือกใช้วัสดุ: แทนทาลัมคาร์ไบด์เป็นวัสดุที่มีประสิทธิภาพดีเยี่ยม มีความแข็งสูง มีจุดหลอมเหลวสูง ทนต่อการกัดกร่อน และมีคุณสมบัติทางกลที่ดีเยี่ยม ดังนั้นจึงมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
2. การเคลือบผิว: การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ถูกนำไปใช้กับพื้นผิวของตัวพาเวเฟอร์ผ่านกระบวนการเคลือบพิเศษเพื่อสร้างการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ที่สม่ำเสมอและหนาแน่น สารเคลือบนี้สามารถให้การป้องกันเพิ่มเติมและความต้านทานต่อการสึกหรอ ในขณะที่มีการนำความร้อนที่ดี
3. ความเรียบและความแม่นยำ: ตัวพาเวเฟอร์เคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์มีความเรียบและความแม่นยำในระดับสูง ทำให้มั่นใจในเสถียรภาพและความแม่นยำของเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการผลิต ความเรียบและผิวสำเร็จของพื้นผิวตัวพาถือเป็นสิ่งสำคัญในการรับรองคุณภาพและประสิทธิภาพของเวเฟอร์
4. ความเสถียรของอุณหภูมิ: ตัวพาเวเฟอร์เคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์สามารถรักษาเสถียรภาพในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงโดยไม่มีการเสียรูปหรือหลวม ทำให้มั่นใจในความเสถียรและความสม่ำเสมอของเวเฟอร์ในกระบวนการที่อุณหภูมิสูง
5. ความต้านทานการกัดกร่อน: การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์มีความต้านทานการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม สามารถต้านทานการกัดกร่อนของสารเคมีและตัวทำละลาย และปกป้องตัวพาจากการกัดกร่อนของของเหลวและก๊าซ
มีและไม่มี TaC
หลังจากใช้ TaC (ขวา)
ยิ่งไปกว่านั้น Semicera'sผลิตภัณฑ์เคลือบ TaCมีอายุการใช้งานยาวนานขึ้นและทนต่ออุณหภูมิสูงได้ดีกว่าเมื่อเทียบกับการเคลือบ SiC.การตรวจวัดในห้องปฏิบัติการได้แสดงให้เห็นว่าของเราการเคลือบ TaCสามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่องที่อุณหภูมิสูงถึง 2300 องศาเซลเซียส เป็นระยะเวลานาน ด้านล่างนี้เป็นตัวอย่างบางส่วนของตัวอย่างของเรา:
