เซมิเซราTaC Coating Chuck หัวจับสุญญากาศที่ล้ำสมัยที่มาพร้อมกับการเคลือบ TaCออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับเตาเผาเซมิคอนดักเตอร์ ออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่ เทคโนโลยีที่เป็นนวัตกรรมนี้กำหนดมาตรฐานใหม่สำหรับความแม่นยำ ความน่าเชื่อถือ และอายุการใช้งานที่ยาวนาน
หัวใจสำคัญของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์คือความต้องการที่สำคัญสำหรับการควบคุมที่แม่นยำและความเสถียรระหว่างการประมวลผล หัวจับเคลือบ TaC ตอบสนองความต้องการนี้โดยการบูรณาการขั้นสูงสารเคลือบ TaC (แทนทาลัมคาร์ไบด์)บนพื้นผิว จึงมั่นใจได้ถึงความเสถียรทางความร้อน ความทนทาน และความต้านทานต่อการกัดกร่อนของสารเคมีที่ยอดเยี่ยม การผสมผสานวัสดุที่เป็นเอกลักษณ์นี้ไม่เพียงแต่เพิ่มประสิทธิภาพของหัวจับเท่านั้น แต่ยังช่วยยืดอายุการใช้งานอีกด้วย โดยให้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอตลอดรอบนับไม่ถ้วน
ข้อดีหลักประการหนึ่งของ TaC Coating Chuck คือความสามารถในการรักษาความสมบูรณ์ของสุญญากาศในระดับสูงตลอดวงจรการประมวลผลทั้งหมด ด้วยการลดการปล่อยก๊าซและการปนเปื้อนอย่างมีประสิทธิภาพ เทคโนโลยีนี้รับประกันความบริสุทธิ์และคุณภาพของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ ส่งผลให้อุปกรณ์มีประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่เหนือกว่า
นอกจากนี้ TaC Coating Chuck ยังมอบความสามารถรอบด้านที่ไม่มีใครเทียบได้ โดยรองรับซับสเตรตเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลายซึ่งมีขนาดและรูปทรงที่แตกต่างกัน การออกแบบที่ปรับแต่งได้ของ TaC Coating Chuck ช่วยให้สามารถบูรณาการเข้ากับระบบเตาเผาเซมิคอนดักเตอร์ที่มีอยู่ได้อย่างราบรื่น ลดเวลาหยุดทำงานและเพิ่มผลผลิตสูงสุด
ด้วย TaC Coating Chuck ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์สามารถบรรลุปริมาณงานที่สูงขึ้น ผลผลิตที่ดีขึ้น และลดต้นทุนโดยรวม ไม่ว่าจะในห้องปฏิบัติการวิจัยหรือโรงงานผลิตที่มีปริมาณมาก เทคโนโลยีขั้นสูงนี้ช่วยให้ผู้เชี่ยวชาญด้านเซมิคอนดักเตอร์ก้าวข้ามขีดจำกัดของนวัตกรรมไปพร้อมๆ กับรักษามาตรฐานคุณภาพที่เข้มงวด
มีและไม่มี TaC
หลังจากใช้ TaC (ขวา)
ยิ่งไปกว่านั้น Semicera'sผลิตภัณฑ์เคลือบ TaCมีอายุการใช้งานยาวนานขึ้นและทนต่ออุณหภูมิสูงได้ดีกว่าเมื่อเทียบกับการเคลือบ SiC.การตรวจวัดในห้องปฏิบัติการได้แสดงให้เห็นว่าของเราการเคลือบ TaCสามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่องที่อุณหภูมิสูงถึง 2300 องศาเซลเซียส เป็นระยะเวลานาน ด้านล่างนี้เป็นตัวอย่างบางส่วนของตัวอย่างของเรา:
