เทคโนโลยีการยึดเกาะเวเฟอร์

การประมวลผล MEMS - พันธะ: การใช้งานและประสิทธิภาพในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ บริการปรับแต่งของ Semicera

ในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์ เทคโนโลยี MEMS (ระบบเครื่องกลไฟฟ้าขนาดเล็ก) ได้กลายเป็นหนึ่งในเทคโนโลยีหลักที่ขับเคลื่อนนวัตกรรมและอุปกรณ์ประสิทธิภาพสูง ด้วยความก้าวหน้าของวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี เทคโนโลยี MEMS จึงถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในเซ็นเซอร์ แอคทูเอเตอร์ อุปกรณ์ออพติคัล อุปกรณ์ทางการแพทย์ อิเล็กทรอนิกส์ในยานยนต์ และสาขาอื่นๆ และค่อยๆ กลายเป็นส่วนที่ขาดไม่ได้ของเทคโนโลยีสมัยใหม่ ในด้านเหล่านี้ กระบวนการเชื่อม (การเชื่อม) ซึ่งเป็นขั้นตอนสำคัญในการประมวลผล MEMS มีบทบาทสำคัญในประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์

การติดเป็นเทคโนโลยีที่รวมวัสดุตั้งแต่สองชนิดขึ้นไปเข้าด้วยกันอย่างแน่นหนาด้วยวิธีทางกายภาพหรือทางเคมี โดยปกติแล้ว ชั้นวัสดุต่างๆ จะต้องเชื่อมต่อกันด้วยการเชื่อมติดในอุปกรณ์ MEMS เพื่อให้ได้ความสมบูรณ์ของโครงสร้างและการใช้งานจริง ในกระบวนการผลิตอุปกรณ์ MEMS การเชื่อมไม่เพียงแต่เป็นกระบวนการเชื่อมต่อเท่านั้น แต่ยังส่งผลโดยตรงต่อเสถียรภาพทางความร้อน ความแข็งแรงทางกล ประสิทธิภาพทางไฟฟ้า และด้านอื่นๆ ของอุปกรณ์

ในการประมวลผล MEMS ที่มีความแม่นยำสูง เทคโนโลยีการติดประสานจำเป็นต้องรับประกันการติดกันที่แนบแน่นระหว่างวัสดุ ขณะเดียวกันก็หลีกเลี่ยงข้อบกพร่องใดๆ ที่ส่งผลต่อประสิทธิภาพของอุปกรณ์ ดังนั้นการควบคุมกระบวนการติดอย่างแม่นยำและวัสดุการติดคุณภาพสูงจึงเป็นปัจจัยสำคัญเพื่อให้แน่ใจว่าผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้ายตรงตามมาตรฐานอุตสาหกรรม

การใช้งานพันธะ MEMS ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เทคโนโลยี MEMS ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตอุปกรณ์ขนาดเล็ก เช่น เซ็นเซอร์ มาตรความเร่ง เซ็นเซอร์ความดัน และไจโรสโคป ด้วยความต้องการที่เพิ่มขึ้นสำหรับผลิตภัณฑ์ขนาดเล็ก บูรณาการ และชาญฉลาด ข้อกำหนดด้านความแม่นยำและประสิทธิภาพของอุปกรณ์ MEMS ก็เพิ่มขึ้นเช่นกัน ในการใช้งานเหล่านี้ เทคโนโลยีการติดจะถูกนำมาใช้ในการเชื่อมต่อวัสดุที่แตกต่างกัน เช่น เวเฟอร์ซิลิคอน แก้ว โลหะ และโพลีเมอร์ เพื่อให้บรรลุการทำงานที่มีประสิทธิภาพและมีเสถียรภาพ

1. เซ็นเซอร์ความดันและมาตรความเร่ง
ในด้านรถยนต์ การบินและอวกาศ เครื่องใช้ไฟฟ้า ฯลฯ เซ็นเซอร์ความดันและมาตรความเร่ง MEMS ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในระบบการวัดและการควบคุม กระบวนการเชื่อมประสานใช้ในการเชื่อมต่อชิปซิลิคอนและส่วนประกอบเซ็นเซอร์ เพื่อให้มั่นใจถึงความไวและความแม่นยำสูง เซ็นเซอร์เหล่านี้จะต้องสามารถทนต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรง และกระบวนการยึดติดคุณภาพสูงสามารถป้องกันไม่ให้วัสดุหลุดออกหรือทำงานผิดปกติเนื่องจากการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิได้อย่างมีประสิทธิภาพ

2. อุปกรณ์ไมโครออปติคัลและสวิตช์ออปติคัล MEMS
ในด้านการสื่อสารด้วยแสงและอุปกรณ์เลเซอร์ อุปกรณ์ออปติคัล MEMS และสวิตช์ออปติคัลมีบทบาทสำคัญ เทคโนโลยีการติดประสานถูกนำมาใช้เพื่อให้เกิดการเชื่อมต่อที่แม่นยำระหว่างอุปกรณ์ MEMS ที่ใช้ซิลิคอนและวัสดุ เช่น ใยแก้วนำแสงและกระจก เพื่อให้มั่นใจในประสิทธิภาพและความเสถียรของการส่งสัญญาณแสง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการใช้งานที่มีความถี่สูง แบนด์วิธกว้าง และการส่งข้อมูลทางไกล เทคโนโลยีการยึดติดประสิทธิภาพสูงถือเป็นสิ่งสำคัญ

3. ไจโรสโคป MEMS และเซ็นเซอร์เฉื่อย
ไจโรสโคปและเซ็นเซอร์เฉื่อย MEMS ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการนำทางและการวางตำแหน่งที่แม่นยำในอุตสาหกรรมระดับไฮเอนด์ เช่น การขับขี่อัตโนมัติ หุ่นยนต์ และการบินและอวกาศ กระบวนการพันธะที่มีความแม่นยำสูงสามารถรับประกันความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์ และหลีกเลี่ยงการลดประสิทธิภาพหรือความล้มเหลวระหว่างการทำงานระยะยาวหรือการทำงานที่มีความถี่สูง

ข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพที่สำคัญของเทคโนโลยีพันธะในการประมวลผล MEMS

ในการประมวลผล MEMS คุณภาพของกระบวนการประสานจะกำหนดประสิทธิภาพ อายุการใช้งาน และความเสถียรของอุปกรณ์โดยตรง เพื่อให้มั่นใจว่าอุปกรณ์ MEMS สามารถทำงานได้อย่างเชื่อถือได้เป็นเวลานานในสถานการณ์การใช้งานต่างๆ เทคโนโลยีการเชื่อมต้องมีประสิทธิภาพหลักดังต่อไปนี้:

1. เสถียรภาพทางความร้อนสูง
สภาพแวดล้อมการใช้งานจำนวนมากในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มีสภาวะอุณหภูมิสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในด้านรถยนต์ การบินและอวกาศ ฯลฯ ความเสถียรทางความร้อนของวัสดุยึดติดถือเป็นสิ่งสำคัญและสามารถทนต่อการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิได้โดยไม่เสื่อมสภาพหรือเสียหาย

2. ความต้านทานการสึกหรอสูง
อุปกรณ์ MEMS มักเกี่ยวข้องกับโครงสร้างทางกลระดับไมโคร และการเสียดสีและการเคลื่อนไหวในระยะยาวอาจทำให้ชิ้นส่วนที่เชื่อมต่อสึกหรอ วัสดุประสานต้องมีความทนทานต่อการสึกหรอที่ดีเยี่ยมเพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรและประสิทธิภาพของอุปกรณ์ในการใช้งานในระยะยาว

3. มีความบริสุทธิ์สูง

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มีข้อกำหนดที่เข้มงวดมากเกี่ยวกับความบริสุทธิ์ของวัสดุ สิ่งปนเปื้อนเล็กๆ น้อยๆ อาจทำให้อุปกรณ์ทำงานล้มเหลวหรือประสิทธิภาพการทำงานลดลง ดังนั้นวัสดุที่ใช้ในกระบวนการติดจะต้องมีความบริสุทธิ์สูงมากเพื่อให้แน่ใจว่าอุปกรณ์ไม่ได้รับผลกระทบจากการปนเปื้อนภายนอกระหว่างการทำงาน

4. ความแม่นยำในการยึดเกาะที่แม่นยำ
อุปกรณ์ MEMS มักต้องการความแม่นยำในการประมวลผลระดับไมครอนหรือระดับนาโนเมตร กระบวนการติดประสานต้องรับประกันการเชื่อมต่อที่แม่นยำของวัสดุแต่ละชั้น เพื่อให้แน่ใจว่าการทำงานและประสิทธิภาพของอุปกรณ์จะไม่ได้รับผลกระทบ

พันธะขั้วบวก

พันธะขั้วบวก:
● ใช้ได้กับการเชื่อมระหว่างเวเฟอร์ซิลิคอนกับแก้ว โลหะและแก้ว เซมิคอนดักเตอร์และโลหะผสม และเซมิคอนดักเตอร์กับแก้ว
พันธะยูเทคตอยด์:
● ใช้ได้กับวัสดุ เช่น PbSn, AuSn, CuSn และ AuSi

การติดกาว:
● ใช้กาวติดพิเศษ เหมาะสำหรับกาวติดพิเศษ เช่น AZ4620 และ SU8
● ใช้ได้กับขนาด 4 นิ้วและ 6 นิ้ว

บริการติดกาวแบบกำหนดเองของ Semicera

ในฐานะผู้ให้บริการโซลูชั่นการประมวลผล MEMS ชั้นนำของอุตสาหกรรม Semicera มุ่งมั่นที่จะให้บริการลูกค้าด้วยบริการติดประสานแบบกำหนดเองที่มีความแม่นยำสูงและมีเสถียรภาพสูง เทคโนโลยีการยึดเหนี่ยวของเราสามารถนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในการเชื่อมต่อวัสดุที่แตกต่างกัน รวมถึงซิลิคอน แก้ว โลหะ เซรามิก ฯลฯ ซึ่งเป็นโซลูชั่นที่เป็นนวัตกรรมสำหรับการใช้งานระดับไฮเอนด์ในสาขาเซมิคอนดักเตอร์และ MEMS

Semicera มีอุปกรณ์การผลิตขั้นสูงและทีมงานด้านเทคนิค และสามารถจัดหาโซลูชั่นการยึดเกาะที่ปรับแต่งได้ตามความต้องการเฉพาะของลูกค้า ไม่ว่าจะเป็นการเชื่อมต่อที่เชื่อถือได้ภายใต้อุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมแรงดันสูง หรือการติดอุปกรณ์ไมโครที่แม่นยำ Semicera สามารถตอบสนองข้อกำหนดกระบวนการที่ซับซ้อนต่างๆ เพื่อให้แน่ใจว่าแต่ละผลิตภัณฑ์สามารถตอบสนองมาตรฐานคุณภาพสูงสุดได้

บริการติดกาวแบบกำหนดเองของเราไม่ได้จำกัดอยู่เพียงกระบวนการติดแบบดั้งเดิม แต่ยังรวมถึงการติดโลหะ การติดด้วยแรงอัดด้วยความร้อน การติดกาว และกระบวนการอื่น ๆ ซึ่งสามารถให้การสนับสนุนด้านเทคนิคอย่างมืออาชีพสำหรับวัสดุ โครงสร้าง และข้อกำหนดการใช้งานที่แตกต่างกัน นอกจากนี้ Semicera ยังสามารถให้บริการลูกค้าอย่างเต็มรูปแบบตั้งแต่การพัฒนาต้นแบบไปจนถึงการผลิตจำนวนมาก เพื่อให้มั่นใจว่าทุกความต้องการทางเทคนิคของลูกค้าสามารถรับรู้ได้อย่างถูกต้อง