เวเฟอร์คาสเซ็ต

รายการ

การผลิต

วิจัย

หุ่นเชิด

พารามิเตอร์คริสตัล

โพลีไทป์

4H

ข้อผิดพลาดในการวางแนวพื้นผิว

<11-20 >4±0.15°

พารามิเตอร์ทางไฟฟ้า

สารเจือปน

ไนโตรเจนชนิด n

ความต้านทาน

0.015-0.025โอห์ม·ซม

พารามิเตอร์ทางกล

เส้นผ่านศูนย์กลาง

150.0±0.2มม

ความหนา

350±25 ไมโครเมตร

ปฐมนิเทศแนวราบ

[1-100]±5°

ความยาวแบนหลัก

47.5±1.5มม

แฟลตรอง

ไม่มี

ทีทีวี

≤5 ไมโครเมตร

≤10 ไมโครเมตร

≤15 ไมโครเมตร

LTV

≤3μm (5 มม. * 5 มม.)

≤5μm (5 มม. * 5 มม.)

≤10μm (5 มม. * 5 มม.)

โค้งคำนับ

-15ไมโครเมตร ~ 15ไมโครเมตร

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

วาร์ป

≤35 ไมโครเมตร

≤45 ไมโครเมตร

≤55 ไมโครเมตร

ความหยาบด้านหน้า (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

โครงสร้าง

ความหนาแน่นของไมโครไพพ์

<1 ตัว/cm2

<10 ตัว/ซม.2

<15 ตัว/ซม.2

สิ่งเจือปนของโลหะ

≤5E10อะตอม/ซม.2

NA

บีพีดี

≤1500 ตัว/cm2

≤3000ตัว/cm2

NA

ศูนย์รับฝาก

≤500 ตัว/cm2

≤1,000 ตัว/cm2

NA

คุณภาพด้านหน้า

ด้านหน้า

Si

การตกแต่งพื้นผิว

ซี-เฟซ ซีเอ็มพี

อนุภาค

≤60ea/เวเฟอร์ (ขนาด≥0.3μm)

NA

รอยขีดข่วน

≤5ea/มม. ความยาวสะสม ≤เส้นผ่านศูนย์กลาง

ความยาวสะสม≤2*เส้นผ่านศูนย์กลาง

NA

เปลือกส้ม/หลุม/คราบ/ริ้ว/รอยแตก/การปนเปื้อน

ไม่มี

NA

เศษขอบ/รอยเยื้อง/การแตกหัก/แผ่นฐานสิบหก

ไม่มี

พื้นที่โพลีไทป์

ไม่มี

พื้นที่สะสม≤20%

พื้นที่สะสม≤30%

เลเซอร์มาร์กด้านหน้า

ไม่มี

คุณภาพกลับ

ด้านหลังเสร็จ

CMP หน้าซี

รอยขีดข่วน

≤5ea/mm ความยาวสะสม≤2*เส้นผ่านศูนย์กลาง

NA

ข้อบกพร่องด้านหลัง (รอยบิ่น/รอยเยื้อง)

ไม่มี

กลับหยาบกร้าน

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

เลเซอร์มาร์กหลัง

1 มม. (จากขอบด้านบน)

ขอบ

ขอบ

แชมเฟอร์

บรรจุภัณฑ์

บรรจุภัณฑ์

พร้อม Epi พร้อมบรรจุภัณฑ์สูญญากาศ

บรรจุภัณฑ์คาสเซ็ตต์แบบหลายเวเฟอร์

*หมายเหตุ： "NA" หมายถึงไม่มีการร้องขอ รายการที่ไม่ได้กล่าวถึงอาจหมายถึง SEMI-STD