แขนจับเวเฟอร์เป็นอุปกรณ์สำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เพื่อจัดการ ถ่ายโอน และจัดตำแหน่งเวเฟอร์- โดยปกติจะประกอบด้วยแขนหุ่นยนต์ มือจับ และระบบควบคุมที่มีความสามารถในการเคลื่อนที่และการวางตำแหน่งที่แม่นยำแขนจับเวเฟอร์มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการเชื่อมโยงต่างๆ ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงขั้นตอนกระบวนการ เช่น การบรรจุแผ่นเวเฟอร์ การทำความสะอาด การสะสมของฟิล์มบาง การแกะสลัก การพิมพ์หิน และการตรวจสอบ ความสามารถด้านความแม่นยำ ความน่าเชื่อถือ และระบบอัตโนมัติถือเป็นสิ่งสำคัญเพื่อให้มั่นใจในคุณภาพ ประสิทธิภาพ และความสม่ำเสมอของกระบวนการผลิต
หน้าที่หลักของแขนจับเวเฟอร์ประกอบด้วย:
1. การถ่ายโอนเวเฟอร์: แขนจับเวเฟอร์สามารถถ่ายโอนเวเฟอร์จากที่หนึ่งไปยังอีกที่หนึ่งได้อย่างแม่นยำ เช่น การนำเวเฟอร์จากชั้นจัดเก็บและวางลงในอุปกรณ์ประมวลผล
2. การวางตำแหน่งและการวางแนว: แขนจับเวเฟอร์สามารถวางตำแหน่งและปรับทิศทางของเวเฟอร์ได้อย่างแม่นยำ เพื่อให้แน่ใจว่ามีการจัดตำแหน่งและตำแหน่งที่ถูกต้องสำหรับการประมวลผลหรือการวัดในภายหลัง
3. การหนีบและการปลด: แขนจับเวเฟอร์มักจะติดตั้งด้วยมือจับที่สามารถยึดเวเฟอร์ได้อย่างปลอดภัยและปล่อยออกเมื่อจำเป็นเพื่อให้แน่ใจว่ามีการถ่ายโอนและการจัดการเวเฟอร์อย่างปลอดภัย
4. การควบคุมอัตโนมัติ: แขนจับเวเฟอร์มีระบบควบคุมขั้นสูงที่สามารถดำเนินการลำดับการกระทำที่กำหนดไว้ล่วงหน้าได้โดยอัตโนมัติ ปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิต และลดข้อผิดพลาดของมนุษย์
ลักษณะและข้อดี
1. ขนาดที่แม่นยำและเสถียรภาพทางความร้อน
2. ความแข็งจำเพาะสูงและความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ดีเยี่ยมการใช้งานในระยะยาวไม่ใช่เรื่องง่ายที่จะโค้งงอ
3.มีพื้นผิวเรียบและทนต่อการสึกหรอได้ดี จึงจัดการชิปได้อย่างปลอดภัยโดยไม่มีการปนเปื้อนของอนุภาค
4.ความต้านทานซิลิคอนคาร์ไบด์ใน106-108Ω ไม่ใช่แม่เหล็ก สอดคล้องกับข้อกำหนดข้อกำหนดป้องกัน ESD สามารถป้องกันการสะสมของไฟฟ้าสถิตบนพื้นผิวของชิปได้
5.การนำความร้อนที่ดี ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวต่ำ
