Epitaxy LED สีน้ำเงิน/เขียวจาก Semicera นำเสนอโซลูชันที่ล้ำสมัยสำหรับการผลิต LED ที่มีประสิทธิภาพสูง ออกแบบมาเพื่อรองรับกระบวนการเติบโตแบบเอพิทากเซียลขั้นสูง เทคโนโลยี epitaxy LED สีน้ำเงิน/เขียวของ semicera เพิ่มประสิทธิภาพและความแม่นยำในการผลิตไฟ LED สีน้ำเงินและสีเขียว ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานด้านออปโตอิเล็กทรอนิกส์ต่างๆ ด้วยการใช้ Si Epitaxy และ SiC Epitaxy ที่ล้ำสมัย โซลูชันนี้จึงรับประกันคุณภาพและความทนทานที่เป็นเลิศ
ในกระบวนการผลิต MOCVD Susceptor มีบทบาทสำคัญ ควบคู่ไปกับส่วนประกอบต่างๆ เช่น PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier และ RTP Carrier ซึ่งปรับสภาพแวดล้อมการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิวให้เหมาะสม เอพิแทซี LED สีน้ำเงิน/เขียวของ Semicera ได้รับการออกแบบมาเพื่อให้การสนับสนุนอย่างมั่นคงสำหรับ LED Epitaxial Susceptor, Barrel Susceptor และ Monocrystalline Silicon เพื่อให้มั่นใจว่าได้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอและมีคุณภาพสูง
กระบวนการเอพิแทกซีนี้มีความสำคัญต่อการสร้างชิ้นส่วนไฟฟ้าโซลาร์เซลล์และรองรับการใช้งานต่างๆ เช่น GaN บน SiC Epitaxy ซึ่งช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพของเซมิคอนดักเตอร์โดยรวม ไม่ว่าจะอยู่ในการกำหนดค่า Pancake Susceptor หรือใช้ในการตั้งค่าขั้นสูงอื่นๆ โซลูชัน Epitaxy LED สีน้ำเงิน/เขียวของ Semicera นำเสนอประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ ช่วยให้ผู้ผลิตตอบสนองความต้องการส่วนประกอบ LED คุณภาพสูงที่เพิ่มขึ้น
คุณสมบัติหลัก:
1. ความต้านทานการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง:
ความต้านทานการเกิดออกซิเดชันยังคงดีมากเมื่ออุณหภูมิสูงถึง 1,600 C
2. มีความบริสุทธิ์สูง: เกิดจากการสะสมไอสารเคมีภายใต้สภาวะคลอรีนที่อุณหภูมิสูง
3. ความต้านทานการกัดกร่อน: ความแข็งสูง, พื้นผิวที่กะทัดรัด, อนุภาคละเอียด
4. ความต้านทานการกัดกร่อน: กรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์
ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC
| คุณสมบัติ SiC-CVD | ||
| โครงสร้างคริสตัล | เฟส FCC β | |
| ความหนาแน่น | กรัม/ซม. ³ | 3.21 |
| ความแข็ง | ความแข็งของวิคเกอร์ | 2500 |
| ขนาดเกรน | ไมโครเมตร | 2~10 |
| ความบริสุทธิ์ของสารเคมี | % | 99.99995 |
| ความจุความร้อน | เจ·กก-1 ·K-1 | 640 |
| อุณหภูมิระเหิด | ℃ | 2700 |
| ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์ | MPa (RT 4 จุด) | 415 |
| โมดูลัสของยัง | เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C) | 430 |
| การขยายความร้อน (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| การนำความร้อน | (W/mK) | 300 |
