คำอธิบาย
เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีคุณสมบัติเชิงกลที่ดีเยี่ยมที่อุณหภูมิห้อง เช่น ความแข็งแรงสูง ความแข็งสูง โมดูลัสยืดหยุ่นสูง ฯลฯ และยังมีเสถียรภาพที่อุณหภูมิสูงได้ดีเยี่ยม เช่น การนำความร้อนสูง ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และความแข็งจำเพาะและการมองเห็นที่ดี ประสิทธิภาพการประมวลผล
เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการผลิตชิ้นส่วนเซรามิกที่มีความแม่นยำสำหรับอุปกรณ์วงจรรวม เช่น เครื่องพิมพ์หิน ซึ่งส่วนใหญ่ใช้ในการผลิตตัวพา/ตัวรับ SiC, เรือเวเฟอร์ SiC, แผ่นดูด, แผ่นระบายความร้อนด้วยน้ำ, ตัวสะท้อนการวัดที่แม่นยำ, ตะแกรง และชิ้นส่วนโครงสร้างเซรามิกอื่นๆ
ข้อดี
ทนต่ออุณหภูมิสูง: การใช้งานปกติที่ 1800 ℃
การนำความร้อนสูง: เทียบเท่ากับวัสดุกราไฟท์
ความแข็งสูง: ความแข็งรองจากเพชร โบรอนไนไตรด์เท่านั้น
ความต้านทานการกัดกร่อน: กรดและด่างเข้มข้นไม่มีการกัดกร่อน ความต้านทานการกัดกร่อนดีกว่าทังสเตนคาร์ไบด์และอลูมินา
น้ำหนักเบา: ความหนาแน่นต่ำ ใกล้กับอะลูมิเนียม
ไม่มีการเสียรูป: ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ
ความต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว: สามารถทนต่อการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิที่คมชัด ทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว และมีเสถียรภาพ
ตัวพาซิลิคอนคาร์ไบด์ เช่น ตัวพากัด sic, ตัวรับการกัด ICP ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในเซมิคอนดักเตอร์ CVD, การสปัตเตอร์แบบสุญญากาศ เป็นต้น เราสามารถจัดหาตัวพาพาหะเวเฟอร์ของวัสดุซิลิกอนและซิลิกอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเองให้กับลูกค้าเพื่อตอบสนองการใช้งานที่แตกต่างกัน
ข้อดี
| คุณสมบัติ | ค่า | วิธี |
| ความหนาแน่น | 3.21 ก./ซีซี | อ่างล้างจานและมิติ |
| ความร้อนจำเพาะ | 0.66 เจ/กรัม °K | แฟลชเลเซอร์แบบพัลส์ |
| ความแข็งแรงของแรงดัดงอ | 450 เมกะปาสคาล560 เมกะปาสคาล | โค้ง 4 จุด, โค้ง RT4 จุด, 1300° |
| ความเหนียวแตกหัก | 2.94 เมกะพาสคัล ลบ.ม./2 | การเยื้องระดับไมโคร |
| ความแข็ง | 2800 | วิคเกอร์ส โหลด 500ก |
| โมดูลัสยืดหยุ่น โมดูลัสของยัง | 450 เกรดเฉลี่ย 430 เกรดเฉลี่ย | โค้ง 4 จุด, โค้ง RT4 pt, 1300 °C |
| ขนาดเกรน | 2 – 10 ไมโครเมตร | เอสอีเอ็ม |
ประวัติบริษัท
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. คือซัพพลายเออร์ชั้นนำด้านเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง และเป็นผู้ผลิตเพียงรายเดียวในประเทศจีนที่สามารถจัดหาเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงได้พร้อมกัน (โดยเฉพาะ Recrystallized SiC) และการเคลือบ CVD SiC นอกจากนี้ บริษัทของเรายังมุ่งมั่นในด้านเซรามิก เช่น อลูมินา อะลูมิเนียมไนไตรด์ เซอร์โคเนีย และซิลิคอนไนไตรด์ เป็นต้น
ผลิตภัณฑ์หลักของเราได้แก่: แผ่นแกะสลักซิลิกอนคาร์ไบด์, เรือลากจูงซิลิคอนคาร์ไบด์, เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ (ไฟฟ้าโซลาร์เซลล์และเซมิคอนดักเตอร์), ท่อเตาซิลิกอนคาร์ไบด์, ไม้พายยื่นเท้ายื่นซิลิคอนคาร์ไบด์, หัวจับซิลิกอนคาร์ไบด์, ลำแสงซิลิคอนคาร์ไบด์ ตลอดจนการเคลือบ CVD SiC และ TaC การเคลือบ ผลิตภัณฑ์ที่ใช้เป็นหลักในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ เช่น อุปกรณ์สำหรับการเจริญเติบโตของผลึก, เอพิแทกซี, การแกะสลัก, บรรจุภัณฑ์, เตาเคลือบและการแพร่กระจาย ฯลฯ
ขนส่ง
