เซมิเซร่าไม้พาย SiCได้รับการออกแบบมาเพื่อการขยายตัวทางความร้อนน้อยที่สุด ให้ความเสถียรและความแม่นยำในกระบวนการที่ความแม่นยำของมิติเป็นสิ่งสำคัญ ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่ไหนเวเฟอร์จะต้องผ่านวงจรการให้ความร้อนและความเย็นซ้ำๆ เนื่องจากเรือเวเฟอร์จะรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้าง เพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอ
ผสมผสานเซมิเซร่าไม้พายกระจายซิลิคอนคาร์ไบด์เข้าไปในสายการผลิตของคุณจะช่วยเพิ่มความน่าเชื่อถือให้กับกระบวนการของคุณด้วยคุณสมบัติทางความร้อนและทางเคมีที่เหนือกว่า ไม้พายเหล่านี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการแพร่กระจาย ออกซิเดชัน และการหลอม ทำให้มั่นใจได้ว่าเวเฟอร์จะได้รับการจัดการด้วยความเอาใจใส่และแม่นยำตลอดแต่ละขั้นตอน
นวัตกรรมคือหัวใจสำคัญของ Semicera'sไม้พาย SiCออกแบบ. ไม้พายเหล่านี้ได้รับการปรับแต่งให้เข้ากันได้อย่างลงตัวกับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่มีอยู่ ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการจัดการ โครงสร้างน้ำหนักเบาและการออกแบบตามหลักสรีรศาสตร์ไม่เพียงปรับปรุงการเคลื่อนย้ายแผ่นเวเฟอร์ แต่ยังช่วยลดเวลาหยุดทำงาน ส่งผลให้การผลิตมีความคล่องตัว
| คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่ | |
| คุณสมบัติ | ค่าทั่วไป |
| อุณหภูมิในการทำงาน (°C) | 1600°C (พร้อมออกซิเจน), 1700°C (ลดสภาพแวดล้อม) |
| เนื้อหา SiC | > 99.96% |
| เนื้อหาศรีฟรี | <0.1% |
| ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | 2.60-2.70 ก./ซม3 |
| มีความพรุนอย่างเห็นได้ชัด | < 16% |
| แรงอัด | > 600 เมกะปาสคาล |
| แรงดัดงอเย็น | 80-90 เมกะปาสคาล (20°ซ) |
| แรงดัดงอร้อน | 90-100 เมกะปาสคาล (1,400°C) |
| การขยายตัวทางความร้อนที่ 1500°C | 4.70 10-6/°ซ |
| การนำความร้อนที่ 1200°C | 23 วัตต์/เมตร•เค |
| โมดูลัสยืดหยุ่น | 240 เกรดเฉลี่ย |
| ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน | ดีมาก |
