ซอยเวเฟอร์

คำอธิบายสั้น:

เวเฟอร์ SOI เป็นโครงสร้างคล้ายแซนด์วิชซึ่งมีสามชั้นรวมถึงชั้นบนสุด (ชั้นอุปกรณ์) ตรงกลางของชั้นออกซิเจนที่ฝังอยู่ (สำหรับชั้นฉนวน SiO2) และซับสเตรตด้านล่าง (ซิลิคอนจำนวนมาก)เวเฟอร์ SOI ผลิตขึ้นโดยใช้วิธี SIMOX และเทคโนโลยีการเชื่อมเวเฟอร์ ซึ่งช่วยให้ชั้นอุปกรณ์บางลงและแม่นยำยิ่งขึ้น มีความหนาสม่ำเสมอ และความหนาแน่นของข้อบกพร่องต่ำ

ส่งอีเมลถึงเรา

รายละเอียดผลิตภัณฑ์

แท็กสินค้า

ซอยเวเฟอร์(1)

สาขาการสมัคร

1. วงจรรวมความเร็วสูง

2. อุปกรณ์ไมโครเวฟ

3. วงจรรวมอุณหภูมิสูง

4. อุปกรณ์ไฟฟ้า

5. วงจรรวมพลังงานต่ำ

6. เมมส์

7. วงจรรวมแรงดันต่ำ

รายการ		การโต้แย้ง
โดยรวม	เส้นผ่านศูนย์กลางเวเฟอร์ 晶圆尺寸 (มม.)	50/75/100/125/150/200 มม. ± 25um
	โบว์/วาร์ป 翘曲度(	<10um
	อนุภาค 颗粒度(	0.3um<30ea
	แฟลต/รอยบาก 定位边/定位槽	แบนหรือรอยบาก
	การยกเว้นขอบ 边缘去除(มิลลิเมตร)	/
เลเยอร์อุปกรณ์ 器件层	ประเภทเลเยอร์อุปกรณ์/สารเจือปน 器件层掺杂类型	ชนิด N/ชนิด P B/ P/ Sb / เช่น
	การวางแนวเลเยอร์อุปกรณ์ 器件层晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	ความหนาของชั้นอุปกรณ์ 器件层厚度(อืม)	0.1~300um
	ความต้านทานของชั้นอุปกรณ์ 器件层电阻率(โอห์ม•ซม.)	0.001~100,000 โอห์ม-ซม
	อนุภาคในชั้นอุปกรณ์ 器件层颗粒度(	<30ea@0.3
	เลเยอร์อุปกรณ์ TTV 器件层TTV(	<10um
	เสร็จสิ้นเลเยอร์อุปกรณ์ 器件层表的处理	ขัดเงา
กล่อง	ความหนาของออกไซด์ของความร้อนที่ฝังอยู่ 埋氧层厚度(อืม)	50 นาโนเมตร (500Å)~15um
จัดการเลเยอร์ 衬底	ด้ามจับ ชนิดเวเฟอร์/สารเจือปน 衬底层类型	ชนิด N/ชนิด P B/ P/ Sb / เช่น
	จัดการการวางแนวเวเฟอร์ 衬底晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	จัดการกับความต้านทานของเวเฟอร์ 衬底电阻率(โอห์ม•ซม.)	0.001~100,000 โอห์ม-ซม
	จัดการกับความหนาของเวเฟอร์ 衬底厚度(อืม)	>100um
	จัดการเวเฟอร์เสร็จสิ้น 衬底表的处理	ขัดเงา
SOI เวเฟอร์ของข้อกำหนดเป้าหมายสามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของลูกค้า