คำอธิบาย
ตัวรับฐานกราไฟท์เคลือบ SiCสำหรับ MOCVD จากเซมิเซราได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อให้มีประสิทธิภาพที่โดดเด่นในกระบวนการเติบโตของเยื่อบุผิว การเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์คุณภาพสูงบนฐานกราไฟท์ทำให้มั่นใจได้ถึงความเสถียร ความทนทาน และการนำความร้อนที่เหมาะสมที่สุดระหว่างการดำเนินการ MOCVD (การสะสมไอสารเคมีอินทรีย์โลหะ) ด้วยการใช้เทคโนโลยีตัวรับที่เป็นนวัตกรรมของเซมิเซรา คุณสามารถบรรลุความแม่นยำและประสิทธิภาพที่เพิ่มขึ้นได้ศรี EpitaxyและSiC Epitaxyการใช้งาน
เหล่านี้ตัวรับ MOCVDได้รับการออกแบบมาเพื่อรองรับส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ที่จำเป็นต่างๆ เช่นผู้ให้บริการแกะสลัก PSS, ผู้ให้บริการแกะสลัก ICP, และผู้ให้บริการ RTPทำให้มีความหลากหลายสำหรับงานแกะสลักและงาน epitaxis ต่างๆ ความมุ่งมั่นของ Semicera ในการสร้างมาตรฐานระดับสูงทำให้มั่นใจได้ว่าตัวรับเหล่านี้ตอบสนองความต้องการอันเข้มงวดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่
เหมาะสำหรับใช้ในLED เอพิเทเชียลกระบวนการ Susceptor, Barrel Susceptor และ Monocrystalline Silicon นั้น Susceptor เหล่านี้สามารถปรับแต่งให้เหมาะกับเวเฟอร์ขนาดต่างๆ ได้ รวมถึงการกำหนดค่า Pancake Susceptor อีกทั้งยังมีประสิทธิภาพสูงในการจัดการชิ้นส่วนไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ ทำให้เป็นองค์ประกอบสำคัญในการพัฒนาเซลล์แสงอาทิตย์ที่มีประสิทธิภาพ
นอกจากนี้ ตัวรับฐานกราไฟท์เคลือบ SiC สำหรับ MOCVD ยังได้รับการปรับให้เหมาะสมสำหรับ GaN บน SiC Epitaxy ซึ่งให้ความเข้ากันได้สูงกับวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง ไม่ว่าคุณจะมุ่งเน้นที่การเพิ่มผลผลิตหรือเพิ่มคุณภาพของการเติบโตแบบ epitaxial ตัวรับของ semicera มอบความน่าเชื่อถือและประสิทธิภาพที่จำเป็นสำหรับความสำเร็จในอุตสาหกรรมเทคโนโลยีขั้นสูง
คุณสมบัติหลัก
1. กราไฟท์เคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง
2. ทนความร้อนได้ดีกว่าและความสม่ำเสมอทางความร้อน
3. ก็ได้เคลือบคริสตัล SiCเพื่อพื้นผิวที่เรียบเนียน
4. มีความทนทานสูงต่อการทำความสะอาดด้วยสารเคมี
ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC:
| SiC-CVD | ||
| ความหนาแน่น | (กรัม/ซีซี) | 3.21 |
| ความแข็งแรงของแรงดัดงอ | (เมปา) | 470 |
| การขยายตัวทางความร้อน | (10-6/เค) | 4 |
| การนำความร้อน | (W/mK) | 300 |
การบรรจุและการจัดส่ง
ความสามารถในการจัดหา:
10,000 ชิ้น / ชิ้นต่อเดือน
บรรจุภัณฑ์และการจัดส่ง:
การบรรจุ: การบรรจุแบบมาตรฐานและแข็งแรง
ถุงโพลี + กล่อง + กล่อง + พาเลท
ท่าเรือ:
หนิงโป/เซินเจิ้น/เซี่ยงไฮ้
เวลานำ:
| ปริมาณ(ชิ้น) | 1-1,000 | >1,000 |
| ประมาณ เวลา(วัน) | 30 | ที่จะเจรจา |
